第一节 常规检查
一、外观检查
故障系统发生故障后，首先进行电器是否有跳闸现象，每个熔断器是否有熔断现象，每块印制电路板上是否有元器件破损、断裂整体外观检查，查找明显的故障现象。先针对有关元器件，注意断路器、热继、过热现象，连接线是否有断线，插接线是否有脱落。然后注意检查是否有焦糊味、异常现象，冷却风扇旋转是否正常等。要详细问操作人员有关当时的操作状况且伴随什么现象。
1、 检查连接电缆与连接线
针对故障有关部分，用常用的仪表或工具检查连接线是否正常，电线、电缆是否断裂，导线电阻值是否增大。尤其请注意经常活动的电缆或电线，由于拐角处受力或摩擦有可能导致断线或绝缘层损坏。
2、 检查连接端子及接插件
针对故障有关部分，检查有关的接线端子、单元接插件。这些部件松动、发热、氧化、电化学腐蚀而容易造成断线或者接触不良。
3、 检查在恶劣条件下工作的元件
某些高热、潮湿、振动、粘灰尘或油污处，容易出现器件老化或失效，对于这些地方要认真检查。如通风道，外面干净，里面积存大量粉尘、铁粉末，一旦落入伺服模块就能造成了整个伺服模块的烧毁。
5、检查应定期保养的部件及器件
有些部件应按照规定及时进行清洗与润滑，如不保养容易出现故障。如直流伺服电动机电枢与测速发电机电枢的换向器、电刷都易磨损，容易出现问题；电动机转子由于电刷粉的吹入会造成放电，这是没有及时文护造成的；冷却风扇长期不转，导致通风道堵塞；风扇电动机不动，造成电动机烧毁；转子轴承由于缺少润滑油，造成上下端盖过热，最后可能会使电动机抱住，甚至烧损。
第二节 指示灯与CRT显示分析法
面板指示灯或印制电路板上的指示灯能大致提供出一些故障的范围，根据提示找出故障，并分析故障，并查资料等工具解决它。
第三节 信号追踪法
追踪相关关联故障信号能找到故障单元。
1、 硬接线系统（继电器——接触器系统）信号追踪法
硬接线系统具有可见的接线、接线端子、测试点。故障状态可以用试电笔、万用表、示波器等测试工具测量电压、电流的大小、性质变化状态、电路的短路、断路、电阻值的变化等，从而判断出故障的原因。
2、 NC、PLC系统状态显示法
NC、PLC程序是软件结构，有些机床面板、编程器可以进行状态显示，显示其输入、输出及中间环节标志位等状态，用于故障的位置判断。
3、 硬接线的强制
在追踪中可以在信号线路上加上正常情况的信号来测试后继电路，但这样做是危险的，因为这时忽略了许多连琐环节，因此特别注意：
1） 把涉及到的前级线断开，避免所加的电源对前级造成损害。
2） 尽量地移动机床可能移动的部分，使可以较长时间移动而不致于碰上限位，以免碰撞。
3） 弄清楚所加信号是什么类型，究竟是直流还是脉冲，是恒流源还是恒压源提供的。
4） 设定要尽可能的小一些（因为有有时运动方式与速度与设定关系很难确定）。
5） 密切注意已经忽略的连锁可能导致的后果。
6） 密切观察运动的情况，勿使超程。
4、 CNC、PLC控制变量的强制
在PLC中可以强制输出1，可以强制使某一位为1，虽然程序中不可能为1，这种强制得到的瞬间效果。若想对标志位或输出长期强制，最好是在程序中清除它的定义程序段或使程序段不被执行。在诊断出故障单元后，亦可利用系统分析法和信号追踪法把故障范围缩小到单元内部某一个部件、某一块集成电路、或某一个元件。当然，还可以用各种检测仪器对某一插件的故障定位。