真空镀膜技术论文文献综述 真空镀膜技术在光学领域的应用近年来是发展得非常快的。在各种光学零件的光学镀
膜方面，主要是利用传统的电阻蒸发、电子束蒸发、低压等离子辅助镀膜、磁控溅射的方
法来制备各种具有光学特性的镜片和棱镜，在有机或无机材料上镀宽带增透膜、红外膜、
激光膜、冷光反射膜、热保护滤光片、宽带干涉光片、硬质增透膜等光学薄膜。平面玻璃
镀膜也是大面积光学镀膜应用的一种，它主要是利用高速磁控溅射技术在大面积的玻璃表
面镀制膜层厚度均匀，并且具有各种光学特性的薄膜，如高透明度、色泽中性、低辐射率
薄膜：低辐射率与太阳能控制的组合特性薄膜；具有各种透光特性和反射不同色彩的阳光保护膜；用于汽车玻璃的透明、导电、防热辐射膜；用于TFT、PDP平板显示技术的透明导电膜和防护膜：用于光通讯方面的DWDM特性膜，用于背投电视的反射成像膜层等。完成以上各种光学薄膜制备的设备是多种多样的，主要是箱式真空镀膜机、隧道式连续磁控溅射台等。目前国内外这类设备的主要生产厂家有：本文来自辣/文(论+文?网，毕业论文 www.751com.cn
表1 镀膜机生产国外主要厂家
日本SHrNCRON
(新科龙) 日本OPTORUN(先驰) 德国Leyboid Optic(莱宝光学) 韩国Hani(韩一)
BMC•70o~l80系列箱式真空镀膜机
NBPF-2型箱式真空镀膜机(DWDM) A904--A1504 系列箱式真空镀膜机 HVC．900系列箱式真空镀膜机
SMC．1100型箱式真空镀膜机(D、胁M)
o矸C．1lo0型箱式真空镀膜机 APS9O4~1504系列箱式真空镀膜机
CES系列连续式真空镀膜机 SYRUS、SYRUS．系列箱式真空镀膜机
表2 镀膜机生产国内主要厂家：
表2 国内主要厂家：
固投南光有限公司 北京北仪 上海曙光机器厂 广东振华
ZZ5O0--1250系列箱式真空镀膜机 DM 系列箱式真空钢族机 KD 系列箱式真空镀膜机 ZCK系列箱式真空镀膜机
ZZS500--2200系列箱式真空镀膜机 ZZSX系列箱式真空镀膜机 GX系列箱式真空镀膜机
与国外厂家同类设备相比，我国生产的设备主要的差距在于：
1．设备的自动化程度低，光学膜镀层控制精度低，达不到自动控制的要求；
2．设备的可靠性较差， 电气控制以手动为主，全自动控制较少；
3．设备的研发落后于镀膜工艺技术的发展和市场的需求。
1.4.3 在半导体器件、大规模集成电路制造的应用领域
在电子学、半导体器件、大规模集成电路制造上，真空镀膜技术利用电阻蒸发和电子
束蒸发主要用于基片的金属化、混合电路与无源电路组件的制造，利用磁控溅射技术制作
半导体的单层或多层金属化膜、钝化膜与绝缘膜、透明导电膜与用于电子学的ITO膜、RC
网络与微波电路、大面积显示膜、大功率整流器件、继电器的电接触组件与控制电路元件
金属化膜等电学膜。
表3 电子束蒸发设备国外主要厂家：
美国
APPLIDM
ATERL LS
公司
美国
NOVELLUE
公司 美国
VARIAN
公司 美国
MATERIAL
RESEARCH
CORPORATION
公司 日本
ULVAC
公司
表4 磁控溅射系统国内主要厂家：
国投南光有限公司
沈阳科仪 北京北仪创新
JC500-2／D
磁控溅射系统
JGP24磁控溅射系统 JDS．800磁控溅射系统
JC600-2／D
磁控溅射系统
JGP35磁控溅射系统 J]f1 700太阳能热管磁控溅射系统
JC80c啪
磁控溅射系统
JGP600磁控溅射系统 3578