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塑料真空镀的研究论文+常见问题及解决方法 第5页

更新时间:2016-8-27:  来源:毕业论文
实验结果与讨论
3.1功率对成膜的影响
表3.1是在控制靶材、基片、时间、真空压力、靶距不变的条件,功率对成膜效果的影响。由实验结果可以看出,功率太小或太大的时候,都会导致成膜附着力的不良。最佳镀膜功率为6-8KW。
表3.1  功率对真空镀铝膜的影响
靶材 Al
基片 ABS材料
时间(S) 5
功率(KW) 5 6 7 8 9
真空压力(Pa) 9.0*10-3
靶距(mm) 10
膜厚(nm) 70 80 90 100 110
外观 亮银 亮银 亮银 亮银 亮银
附着力 偏差 良好 良好 良好 偏差

3.2 时间对成膜的影响
表3.2  时间对真空镀铝膜的影响
靶材 Al
基片 ABS材料
时间(S) 1 3 5 7 9
功率(KW) 7
真空压力(Pa) 9.0*10-3
靶距(mm) 10
膜厚(nm) 50 70 90 110 130
外观 亮银 亮银 亮银 亮银 亮银
附着力 良好 良好 良好 良好 良好
表3.2是在控制靶材、基片、功率、真空压力、靶距不变的条件,时间对成膜效果的影响。由实验结果可以看出,随着时间的延长,膜厚会明显得加厚。通常我们需要的是100nm左右的膜厚,因此最佳的镀膜时间为5s。

3.3 压力对成膜的影响 杜家台油层组储层特性及非均质性研究
表3.3是在控制靶材、基片、时间、功率、靶距不变的条件,真空压力对成膜效果的影响。由实验结果可以看出,真空压力的改变对成膜的影响并不是很大。习惯上会选择9.0*10-3 Pa的真空压力。
表3.3  真空压力对真空镀铝膜的影响

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