2.3真空系统
真空抽气系统真空室为卧式上、下室结构,上室为卷绕室,下室为镀膜室,上下室之间为镀膜主辊。真空抽气系统由双机组构成,卷绕室机组是中真空机组,空载极限压力为1×10-1Pa;镀膜室机组是高真空机组,空载极限压力为7×10-3Pa。根据几种薄膜的工艺放气量、300 m/min的最大镀膜速度及二次恢复真空的时间要求等具体数据,经计算,选用1台Z-800油增压泵为卷绕室真空机组的主泵,二台KC-800扩散泵为镀膜室真空机组的主泵。高真空系统配置新型KC型油扩散泵,具有抽速大,在镀膜真空状态下有稳定快速的抽气能力。为了缩短二次恢复真空的工艺时间,二套机的前级泵均为ZJ-1200罗茨泵和H-150滑阀泵,并且,卷绕室真空机组为二台H-150滑阀泵为前级泵。详见图1
图2.6 真空系统示意图
油扩散泵和油增压泵均配有深冷捕集装置,且备留深冷机组接口。油扩散泵和油增压泵的前级泵均为2X-30旋片泵。在真空抽气系统中,真空预抽阀门和真空主抽气阀门均为气动控制,具有反应迅速、动作准确、使用可靠等优点。真空抽气系统中还配置干燥气体充气阀门,真空度检测传感器等部件,可根据不同的镀铝膜基材和不同的镀铝膜厚度设置不同的真空镀膜工艺,自动化控制程度高操作台配备PLC加触摸屏的操作界面显示,操作直观、轻松。
2.4卷绕系统及控制
卷绕系统采用恒张力直流电机卷绕调速装置,整个系统由收卷辊、放卷辊、弹簧辊、压辊、冷却辊(主辊)、导辊、张力检测辊、收卷跟踪机构等组成。卷绕系统各导辊的布置详见图2。
图2.7卷绕系统示意图
1.放卷辊 2.收卷辊 3.卷径跟踪辊 4.展平辊 5.导辊 6.张力检测辊 7.压辊
8.冷却辊(主辊) 9.弹簧辊 10.蒸发坩埚 11.送铝丝机构
收卷侧,放卷侧各有一根张力检测辊(6),对收卷侧,放卷侧的张力随时进行检测,并将讯号传送给收、放卷电机,对张力随时进行控制。卷绕系统的张力控制子系统,具有张力自动检测、闭环自动反馈、张力预设、在线显示、断膜保护等功能。能以冷却辊为核心,形成一个线速度可调,张力可调,且具有锥度调节、过压过流、断膜保护、断膜报警的稳定系统,使得卷绕速度高,并且运行平稳。收卷辊增设卷径跟踪机构,实现定距离卷取,保证收卷辊对卷取镀铝膜的平整。而且,只要将卷径跟踪辊改为电阻测量辊,就可以镀电容器膜。
镀膜主锟——冷却辊配有冷热交换机组,与真空镀膜机的蒸发系统联动,形成可连续工作、温度连续可调的冷却交换系统。冷热交换机组由冷冻机、冷冻液、常温液、循环箱体、截止阀、电磁阀、单向阀、循环泵等主要部件组成。冷却辊的工作温度在摄氏0度以下。
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