3总体结构设计：
图3.1机器运转过程
图3.2进行工作图
3.1壁厚设计
按照薄壳理论设计真空容器，薄壳的计算壁厚δ0应该满足公式：
(4-1)
公式中δ0——镀膜室的计算壁厚，㎜；
Di ——镀膜室内径，㎜；
由此算出理论的壁厚为100㎜。箱体尺寸我设计为5000×2700×3000。
图3.3真空室箱体
之后我需要在箱内壁上定位，确定我蒸发系统的位置，蒸发系统包括蒸发源夹坐（电极），蒸发源，送丝机构组成。蒸镀时蒸发源被固定在夹座上进行加热，正常生产时蒸发源的温度为1300°C～1400°C，高纯度的铝材由输送电机将其连续送到蒸发源上并被汽化。
为了减小板材的厚度，盒形壳体上通常都使用了加强筋。盒形壳体厚度可以按照矩形平板计算，其计算见式(3-1)和（3-2）。
(3-2)
δ—壳体实际壁厚，cm
δ0—壳体计算壁厚，cm
C—壁厚附加量，cm
B—矩形板的窄边长度，cm
—弯曲时许用应力MPa。通常规定轧钢和铸钢弯曲许用应力与简单拉伸压缩时许用应力相同。
4.2真空镀膜室冷却
真空室冷却可以采用自然冷却或者水冷却。水冷有两种形式，一种是将水管螺旋式地焊在真空室内壁，另一种是在真空室外壁加装水冷套，我选择的是在内壁加装冷井，由于封闭的水管冷却效果较差，所以应使水管与真空室壁接触良好，其接触面积尽可能扩大。冷阱面积为3 如图。
图3.4真空室冷阱
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