一旦激光驱动飞片冲击起爆技术成熟，运用它形成的产品就可以替换现役敏感火工品，将其运用在运载火箭、弹药武器作战平台等系统，火工品的本质安全性将显著提高。激光驱动飞片冲击起爆技术也可以明显缩短起爆时间，使得点火时间控制更加精确。另外，直接使用钝感炸药作为起爆目标，避免了使用起爆药所带来的各种安全问题。同时，激光驱动飞片冲击起爆技术具有很强的抗电磁环境能力。激光驱动飞片冲击起爆技术采用光导纤维传输激光能源作为驱动能源，由于光能和光纤不受电和电磁干扰的影响，因此从根本上排除了电磁危害。

1．2  国内外研究进展

1．3  本论文主要研究内容

了解并掌握复合飞片的制备方法，掌握激光驱动飞片技术的原理与主要应用方向，了解多普勒测速技术的原理，获得激光驱动复合飞片的速度规律，获得飞片的冲击坑形貌，最终获得激光驱动复合飞片的换能规律。

本文拟重点开展以下几方面的工作：

1.采用磁控溅射法制备三种CuO/Al配比不同的CuO/Al/Al2O3/Al复合飞片。

2.对上述CuO/Al/Al2O3/Al复合飞片进行相应的薄膜厚度、SEM表征。对做Al/ CuO复合膜进行XRD检测。

2.采用PDV技术对飞片进行速度测量，采用共聚焦显微镜技术测试撞击坑形貌。获得复合飞片实物样品，获得复合飞片的速度规律图表、飞片撞击坑图片。

2  激光换能源的制备

本实验采用了真空磁控溅射镀膜法制备复合飞片。使用该方法镀膜[21]，镀膜沉积速度和厚度比较容易控制，镀膜重复性好（所需要的膜层厚度可以多次重复性再现，称为膜厚重复性）。薄片与基片的附着能力强，制备合金膜和化合物膜时靶材组分与沉积到基体上的膜材组分极为接近，膜层质量好，纯度高，可以方便的制备多层不同种类的薄膜，并且保证镀膜的均匀性。

2. 1  磁控溅射装置来!自~751论-文|网www.751com.cn

本实验所用的装置是由沈阳科有真空技术研究所制造的，如图2.1所示，该设备

的极限真空度优于510-4 Pa，其预抽真空度为1 Pa～10 Pa，它的前级泵为8L·s-1的旋片式机械泵，二级泵是1200 L·s-1的复合型分子泵。