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卷绕式真空镀膜机总体及送丝结构设计开题报告(2)

时间:2017-01-07 16:44来源:毕业论文
离子镀: 蒸发物质的分子被电子碰撞电离后以离子沉积在固体表面, 称为离子镀(如图4)。 这种技术是 D.麦托克斯于 1963 年提出的。离子镀是真空蒸发


    离子镀: 蒸发物质的分子被电子碰撞电离后以离子沉积在固体表面, 称为离子镀(如图4)。
这种技术是 D.麦托克斯于 1963 年提出的。离子镀是真空蒸发与阴极溅射技术的结合。将基片台作为阴极,外壳作阳极,充入惰性气体(如氩) 以产生辉光放电。从蒸发源蒸发的分子通过等离子区时发生电离。正离子被基片台负电压加速打到基片表面。 未 电离的中性原子(约占蒸发料的 95%)也沉积在基片或真空室壁表面。电场对离化的蒸气分子的加速作用(离子 能量约几百~几千电子伏)和氩离子对基片的溅射清洗作用,使膜层附着强度大大提高。离子镀工艺综合了蒸发 (高沉积速率)与溅射(良好的膜层附着力)工艺的特点,并有很好的绕射性,可为形状复杂的工件镀膜。
    图2                      图3                      图4
蒸发镀膜设备及应用产品    溅射镀膜机及应用产品    离子镀膜设备及应用产品
1.3选题意义
    真空镀膜机应用范围: 1.在硬质涂层中的应用:切削工具、模具和耐磨耐腐蚀零件等。 2.在防护涂层中的应用:飞机发动机的叶片、汽车钢板、散热片等。 3.在光学薄膜领域中的应用:增透膜、高反膜、截止滤光片、防伪膜等。 4.在建筑玻璃方面的应用:阳光控制膜、低辐射玻璃、防雾防露和自清洁玻璃等。 5.在太阳能利用领域的应用:太阳能集热管、太阳能电池等。 6.在集成电路制造中的应用:薄膜电阻器、薄膜电容器、薄膜温度传感器等。 7.在信息显示领域的应用:液晶屏、等离子屏等。 8.在信息存储领域的应用:磁信息存储、磁光信息存储等。 9.在装饰饰品上的应用:手机壳、表壳、眼镜架、五金、小饰品等镀膜。
 2.1.1在光学应用领域

    真空镀膜技术在光学领域的应用近年来是发展得非常快的。在各种光学零件的光学镀
膜方面,主要是利用传统的电阻蒸发、电子束蒸发、低压等离子辅助镀膜、磁控溅射的方
法来制备各种具有光学特性的镜片和棱镜,在有机或无机材料上镀宽带增透膜、红外膜、
激光膜、冷光反射膜、热保护滤光片、宽带干涉光片、硬质增透膜等光学薄膜。平面玻璃
镀膜也是大面积光学镀膜应用的一种,它主要是利用高速磁控溅射技术在大面积的玻璃表
面镀制膜层厚度均匀,并且具有各种光学特性的薄膜,如高透明度、色泽中性、低辐射率
(Low.E)薄膜:低辐射率与太阳能控制(Low.Esun or sunbelt Low.E)的组合特性薄膜;
具有各种透光特性和反射不同色彩的阳光保护膜(solar contro1);用于汽车玻璃的透明、
导电、防热辐射膜;用于TFT、PDP平板显示技术的透明导电膜和防护膜:用于光通讯方
面的DWDM特性膜,用于背投电视的反射成像膜层等。
完成以上各种光学薄膜制备的设备是多种多样的,主要是箱式真空镀膜机、隧道式连
续磁控溅射台等。目前国内外这类设备的主要生产厂家有:

表1 国外主要厂家:

日本SHrNCRON
(新科龙)    日本OPTORUN(先驰)    德国Leyboid Optic(莱宝光学)    •
BMC•70o~l80系列箱式真空镀膜机
    NBPF-2型箱式真空镀膜机(DWDM)    A904--A1504 系列箱式真空镀膜机    HVC.900系列箱式真空镀膜机 卷绕式真空镀膜机总体及送丝结构设计开题报告(2):http://www.751com.cn/kaiti/lunwen_1966.html
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