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同步移相干涉测试软件的研究及实现(2)

时间:2020-06-20 16:58来源:毕业论文
1.2 研究现状 1991 年,美国 Koliopoulos 提出一种可以同时获取四幅移相干涉图的干涉仪的设计方案[3]。这种方案采用四个CCD相机,具体如图1.1 所示: 图1.1 同


1.2  研究现状 1991 年,美国 Koliopoulos 提出一种可以同时获取四幅移相干涉图的干涉仪的设计方案[3]。这种方案采用四个CCD相机,具体如图1.1 所示:  图1.1 同步移相干涉仪的光学结构 其中:QWP:1/4波片,HWP:半波片,PBS:偏振分光器,BS:分光镜 2000 年.德国科学家 Hettwer 等人进一步改进了迈克尔逊干涉仪,他们在望远镜焦点处放置光栅,将0级和±1级光分离出来,之后在±1级衍射光中间插进四分之一波片,这个四分之一波片分别和P 光和 S 光平行[4]。这三束光经过检偏器后,可以在同一个 CCD上面得到三幅移相干涉图,这三幅移相干涉图的位相差为 π/2,如图1.2所示。  图1.2 光栅分光偏振移相光路图 2004年,H2000型同步移相 Fizeau 干涉仪利用了迈特公司推出的商品化的 Intelliun技术[5,6]。这个干涉仪的主要优点是它配备了三个 CCD,利用这三个CCD 来采集的图像分辨率都很高。但是它也有一个不好的地方,就是它需要将参考镜倾斜一个角度,这样导致测试光和参考光不共光路,进而导致比较高的轴外像差。尽管测试平面的时候设计镜头降低减少像差。但是测量球面的时候却不行,很大的像差影响实验效果。  图 1.3 ESDI的Fizeau型同步移相干涉仪光路结构示意图 近年来,美国 4D 公司提出一种频移匹配 Fizeau 干涉仪的方案。同时他们推出了一种新的产品:FizCam3000动态 Fizeau 干涉仪[7]。具体的光路图如图 1.4所示。这个系统具体分为三个部分。光源、偏振频移装置和 Fizeau 干涉仪。这里面两个反射器,一个固定,一个可动。这个系统可以将光源具体分成两束正交的偏振光,P 光和 S 光。其中,S 是相对于 P 光有频率的改变。而频移是由动镜沿一个方向移动产生的,这个移动速度非常快。

 

 

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