1.2  本文研究的主要问题

（1）叙述了移相干涉术的原理，并提出了移相干涉的主要实验装置和移相干涉涉及的关键技术。

（2）重点介绍了移相算法原理及分类，并分别对定步长和等步长移相算法进了讨论。

（3）在matlab环境下对移相干涉测量的相位提取过程进行模拟仿真，代入各种算法并计算其误差。同时对各类算法进行比较，讨论各类算法的优缺点。

2  移相干涉术

移相干涉技术（Phase-shifting interferometry,PSI)是一种以光学波长为单位的高精度、非接触式光学干涉测量方法[14]。具体说来，移相干涉技术是一种对物体相位信息进行测量的干涉技术，它使相干的两波面中的一个波面（参考光）的相位阶梯式或连续式变化，当相位变化到某些特定值时对干涉场进行图像采集，通过计算这些具有不同光强分布的干涉图，从而获得被测物体的波前信息。

2.1  移相干涉术的原理

移相干涉术按位相测量方法的不同可分为时域法（Temporal Phase Measurement Methods,TPM)和空域法（Spatial Phase Measurement Methods,SPM)两大类。TPM在不同时间同一位置采集干涉图，而SPM是在同一时间不同位置采集干涉图。通常所说的移相干涉术指的是时域移相干涉术。按移相方法不同，时域移相干涉术又可分为步进式移相干涉和积分式移相干涉[15]。下面分别讨论这两种方法：