EMCCD结构

EMCCD由成像区、存储区、读出寄存器、倍增寄存器以及输出放大器构成，与普通帧转移CCD相比，EMCCD在读出寄存器和输出放大器间多出一组倍增寄存器[13]。成像区由按顺序排列的像素组成，像素点之间由沟阻隔离，成像区与存储区的行数、列数相同，只是成像区的面积大于存储区的面积。在存储区下方为读出寄存器，读出寄存器个数与存储区列数一致[9]。在读出寄存器后的是倍增寄存器，信号电荷在经过倍增寄存器时电荷数发生倍增。在倍增寄存器之后是输出放大器，输出放大器将信号电荷转化为电压值输出。

2.2  EMCCD工作原理

与普通CCD类似，EMCCD工作也同样要经历电荷产生、电荷存储、电荷转移以及电荷读出四个工作过程，但在电荷转移过程，相比于普通CCD，EMMCCD多了电荷倍增这一过程，其完整工作过程如下：文献综述

2.2.1  电荷产生

入射光照射到成像区，光子进入衬底发生光电转换，衬底中处于价带的电子吸收光子能量后从价带跃迁进入导带，并在价带留下空穴，产生光生的电子空穴对。

2.2.2  电荷存储

CCD是在MOS晶体管电荷存储器的基础上发展起来的，在结构上可以把CCD看作是由按规则排列的MOS电容器组成的。