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平面度测试系统--实验研究(3)

时间:2021-01-31 21:22来源:毕业论文
式中: 表示两束光达到某点的光程差; 、 分别为两束光的光强;文献 综述 为光波长。 干涉条纹是光程差相同点的轨迹,其中亮条纹和暗条纹的方程可表

式中: 表示两束光达到某点的光程差;

       、 分别为两束光的光强;文献综述

       为光波长。

干涉条纹是光程差相同点的轨迹,其中亮条纹和暗条纹的方程可表示如下:

                                                (2-2)  

式中: 为干涉条纹的干涉级。

干涉仪中两支光路的光程差 可表示为:

                                                 (2-3) 

式中: 、 分别为干涉仪两支光路的介质折射率;

       、 分别为干涉仪两支光路的几何路程。

通过在干涉仪的一直光路中引入被测量,干涉仪的光程差就会发生变化,干涉条纹也会随之变化,这时可测量出干涉条纹的变化量,就可以获得与介质折射率和几何路程有关的一系列物理量和几何量。

如果用平面图像记录设备记录这种光强分布,就得到一系列明暗交替的条带,这些条带阵列即是干涉条纹图,以上便是干涉条纹图的形成原理。

干涉测量的条纹质量是否优良表现为条纹的对比清晰度[10]。干涉条纹的对比度定义为: 

式中, 和 分别为静态干涉场中光强的最大值和最小值,也可以理解为动态干涉场中某点的光强最大值和最小值。

对于各种类型的干涉仪,降低干涉条纹清晰度的普遍原因是:

1) 光源的时间或空间相干性;

2) 两束相干光光强不等

3) 有杂光存在;

4) 相干光的偏振状态不一致

2.1.2  等倾和等厚干涉基本原理

    下图为等倾干涉原理及条纹图,如图所示扩展光源MM´的光被半反半透的玻璃基板AA´反射到平板Y的上下两个表面,两表面的反射光透过透镜L,会聚到光屏X上,相同角度的入射光线最终会聚于同一位置,光程差随入射角的变动而变化,最终形成干涉条纹,如下图所示为一系列明暗相间的同心圆环[11]。

平面度测试系统--实验研究(3):http://www.751com.cn/wuli/lunwen_69391.html
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