2.1.2  双频激光干涉法

基本原理是双频激光器发出激光，受到四分之一波片的作用而形成呈正交的两束偏振光1和2。后正交的两束光经过半反半透镜打到偏振分光器上被分开形成夹角为α的两束线偏振光，再射向双面反射镜两翼按原路返回，形成拍频并由光电接收器接受处理。若无直线度误差，则光程差相等而无频移值。若有误差，则光程差不等而存在频移值，表征直线度的偏差。

2.1.3  光栅衍射干涉法

敏感元件是光栅，而直线基准则是双面反射镜组反射面夹角的中分线。扩束激光经过分光镜打到光栅，被调制后产生各级衍射光。+1与-1级的衍射光射向两反射镜而被反射并按原路返回到光栅，在光栅再次衍射，+1级的+1级衍射光和-1级的-1级衍射光按照原路的反方向射出并且发生干涉。干涉光线入射到石英晶体产生两路偏振方向垂直的偏振光且发生相移，再经分光镜反射至偏振分光镜被分开，最后由两光电探测器接收处理。