两极板之间储存的能量为：来.自/751·论|文-网·www.751com.cn/

两极板之间的电容为：                                     (2-1)

两极板之间储存的能量为：                                (2-2)

两极板之间的静电力为：                                     (2-3)

把式(2-1)代入式（2-2），然后代入式（2-3）可以得到平行极板间的静电力：

                                                     (2-4)

2．2  静电驱动力作用下Euler-Bernoulli梁微段的动力学控制方程

     如图2-2所示为静电驱动力作用下Euler-Bernoulli梁微段的受力简图，图中 为剪力， )为弯矩，qe(x,t) 为静电力产生的单位长度载荷，设微梁的单位长度密度为 ，抗弯刚度为EI。