式中各绝对值为相应电矢量的振幅,各 值为相应界面处的位相。
由式(2.4),式(2.8)和式(2.9)可以得到
(2.10)
比较等式两端即可得
(2.11)
(2.12)
式(2.11)表明,参量ψ与反射前后 和 分量的振幅比有关。而(2.12)式表明,参量 与反射前后 和 分量的位相差有关。可见, 和 直接反映了光在反射前后偏振态的变化。一般规定, 和 的变化范围分别为0≤ < /2和0≤ <2 。来!自~751论-文|网www.751com.cn
当入射光为椭圆偏振光时,反射后一般为偏振态(指椭圆的形状和方位)发生了变化的椭圆偏振光(除开 < /4且 =0的情况)。为了能直接测得 和 ,须将实验条件作某些限制以使问题简化。也就是要求入射光和反射光满足以下两个条件[27]:
(1)要求入射在膜面上的光为等幅椭圆偏振光(即 和 二分量的振幅相等)。这时
(2.13)
(2)要求反射光为一线偏振光。也就是要求 ),式(2.12)则简化为
薄膜厚度与折射率的测量方法研究(4):http://www.751com.cn/wuli/lunwen_76388.html