(3)化学气相沉积法(CVD)

目前使用较多的制备方法是CVD法，其优点是它可以在一定程度上控制碳纳米管的结构。现在这种相似的方法也被应用来连续合成大面积的石墨烯。在金属（Cu、Co、Ni、Pt）表面热解高温不稳定的部分有机化合物可以使化合物中的碳原子被沉积在基体表面，研究者通过不同的碳源实验，这种方法在适宜的制备条件下可合成石墨烯，然后腐蚀处理方法如碱金属去除，石墨烯片[ 14 ]。如用金属镍包覆硅基板，再加上微波增强系统的使用制备石墨烯，所得到的产品厚度约二十纳米，同时还研究了不同的微波功率对石墨烯形状的影响[ 15 ]。金和其他[ 16 ]使用无水乙醇作为碳源来合成石墨烯，使用氩等离子体，使用一系列方法产生石墨烯。综上所述，化学气象沉积方法可用于改变各种参数对石墨烯的质量控制[17]。通过化学气相沉积法可以获得面积较大、质量较高的石墨烯，并且质量较高，但这种方法也有较为明显的缺点。例如：常用基材（如：pt基片）的价格是非常昂贵的，反应条件较为苛刻，生产工艺更为复杂。