Analog Devices公司从1989年即开始对电容加速度计进行了研究,并且在1993年推出以干法刻蚀技术制作而成的加速度计ADXL50;AD公司并于1998年推出双轴系列,该公司又进而在2005年首次成功地推出了三轴加速度计——ADXL330,如下图1.1所示为该公司的加速度计产品。而始于20世纪末对MEMS加速度计开始进行研制的Silicon Design公司,它生产的三轴加速度计大多都是由3个正交分布的单轴加速度计组成,并且用电镀铝制的外壳将其密封。其不同型号的产品的灵敏度可以达到20mV/g,它的测量范围由±2g~±200g,并且能够抗住达到2000g的冲击。