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更具适用性[14]。然而,夏克哈特曼检测法虽然能获得较高的测量精度,但却损失了大量的中间空间频率信息。
CGH法:
作为衍射光学元件,CGH主要是利用衍射的原理产生波前,而这些波前的形状是任意的,
很久之前检测非球面主要就是利用这种技术[15]。CGH拥有和自由曲面相似的非旋转对称特点,所以在自由曲面的零位补偿检测中发挥着极大的作用。同时,CGH测量精度高、容易进行对准操作、效率高,因而在光学检测中具有重要意义。但是在干涉检测的动态测量范围方面,由于CGH加工制造工艺的限制,如果所检测的自由曲面曲率较大,其干涉条纹密度也会过大,将无法在现有的技术上实现对CGH的制造[16]。同时,由于零位检测条件的限制,不利于其实现检测的通用性。
PMD法:
PMD法与PMP法类似,但PMD法其测量的相位和待测面形梯度有直接关系,通过将标
准相位条纹投影到待测件表面,然后分析由待测件反射回的正弦条纹图案变形情况,可以求出每个像素点对应待测面形上的局部法线方向。该方法于2004年由埃朗根纽伦堡大学MarkusC.Knauer等人首次提出[17]。目前,德国萨尔州大学、四川大学、天津大学对PMD法检测自
由曲面面形都有相应的研究[18]。
子孔径拼接法:
子孔径拼接的想法由JamesWyant等人于1981年首次提出,该想法通过小口径反射镜的
移动实现了由局部干涉拼接融合对大口径镜面的检测。子孔径拼接技术种类较多,主要包括矩形子孔径、环形子孔径和圆形子孔径。然而,孔径拼接由于衍射重叠的存在容易产生迭代误差,复杂准确的拼接算法将是实现子孔径拼接技术的前提,并且子孔径的移动控制也会产生
机械
误差,最终将产生大量积累误差[19]。
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