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    2 相关实验

    对于ZnO基材料我们还没有具备很深的了解,下面,我们会从ZnO基材料的制备开始研究。

    2.1 ZnO基材料的制备

    本论文研究了ZnO薄膜和ZnO体单晶两种不同形态材料的植被和掺杂,涉及到多种制备方法,下面来一次介绍一下。

    2.1.1 ZnO体单晶的制备

    成长大面积、高品质的氧化锌单晶体,关于原料科学与部件运用方面都拥有重要含义。即使氧化铝一直以来被用作氧化锌薄膜生长的衬底,可是它们之间拥有很大的晶格错位,进而造成氧化锌外延层的Dislocation Density很高,这会造成部件功能的老化。因为同质外延内在的长处,高品质、大尺寸的氧化锌单晶体会有助于紫外和蓝光放射部件的生产。因为完备的晶格匹配,氧化锌同质外延在很多层面拥有很极大的潜力:可以完成没有应变、没有高弊端的衬底-层界面、低的瑕疵密度、方便掌控原料的极性等。除了可以用作同质延展,氧化锌单晶体还能够用来做氮化镓的异质延展衬底。氧化锌拥有和氮化镓一样的原子排列顺序,所以拥有较小的晶格错位(1.8%)。

    当前制造氧化锌单晶体的方式主要有热液法、熔盐法、气相法三种。

    热液法又可以叫做高温溶液法,当中包含hydrothertoal temperature difference method、降温法(还有提温法)和同温法。 当前主要利用温差水热结晶,依赖器皿内的液体来保持温差对流产生过饱和形态(利用缓冲器与增热来调节温差)。热液法是制造氧化锌单晶体的主要方式,也是当前制造氧化锌单晶体较良好的方式。 热液法要求掌控好碱溶液的浓度、溶化区与制造区的温度差、制造区的预饱和、合适的元素混杂、增温步骤、籽晶的腐化与营养料的大小等工序。可是,该方式容易让氧化锌晶体中带入其他的金属杂物,还拥有制造时间长、风险性高等弊端

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