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早在1856年，傅科就曾经提出过一种检测镜面面型的实用方法，即刀口法。这种方法是在特定位置上利用刀口阻挡测试光线，这样在有像差的区域上会出现一定范围的阴影，继而通过阴影的形状大小等来判断待测面型是否存在制造误差。刀口法的优点在于可以半定量测量光学器件的面型，灵敏度高，检测过程直观明了，并可以通过阴影图确定镜面制造的误差种类及大小。[5]但是刀口法的缺点在于，这种方法无法进行完全定量的测量，并且受测试人员的主观因素影响很大。当镜面精度到了一定范围内，刀口法不再适用。通常，刀口法的测量精度可以达到λ/20。27675
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在1904年，康芒对瑞奇检测笔记内有关高精度的球面镜检测平面镜手段进行了细致的总结，运用在标准平面检测过程中，形成了康芒-瑞奇法。由于在测试光路中，待测镜面会形成一定角度，故使得波像差与面型误差之间有着非常复杂的计算关系。早期瑞奇-康芒法只能实现半定量的检测，而在1983年，K. L. Shu利用泽尼克多项式推到了波像差与面型误差的函数关系，完成了瑞奇-康芒法的定量测量。在2001年Sen Han使用该方法，并佐以WYKO干涉仪检测了大口径的751边形平面镜检测。[5~7]在国内，1988年，最早将计算机辅助应用于瑞奇-康芒法的是北京理工大学的曹瑞根教授。之后南京理工大学的张宗等人利用该方法以及ZYGO干涉仪成功检测了1.1m平面镜。2006年，长春光机所对1.5m平面镜反射系统进行了检测。但是相对于国外而言，国内对该方法的测量精度和具体分析仍然需要更多研究。[9]
此后的一段时间内，哈特曼法和夏克-哈特曼检验方法逐渐成为了常用的大口径波面检测手段。美国在1987年成功检测了2.4m口径的光学系统，法国在1992年检测了2m口径的望远系统，我国在1997年利用这一方法对2.16m望远系统进行了检测工作。[8]此外，四川大学的常山教授等人利用此方法针对大口径波前检测取得了成效。虽然哈特曼法具有操作方便、标定过程简单、可靠性强等优点，但是该方法需要预先制造匹配度高的哈特曼光阑，口径越大，制造难度越大。此外，该方法适用范围在于会聚球面波的检测，不能对出射准直波前进行有效测量。[10~13]
作为哈特曼方法的拓展，子孔径波面合成方法是另一种针对大口径波前的检测方法。该方法利用莫尔条纹对每一个分割子孔径上的波面斜率进行测量，之后将子孔径波面合并成完整的球面波。在此之前，长春光机所利用该方法检测了口径为500mm的大口径波面。浙江大学在数字波面干涉仪的基础上，使用目标函数多孔径拼接技术，成功测量了大口径波面，并获得良好的波前信息。[7]
近些年来，五棱镜法也成为了大口径波面检测的有效手段。2004年，美国亚利桑那光学中心利用五棱镜法检测了1.6m口径平面镜，检测精度达到16nm RMS，在2006年针对该系统又做了进一步改进。[20]北京理工大学的曹根瑞、四川大学的常山教授、南京理工大学的陈磊教授等都对此方法展开研究，并获得了不错的效果。五棱镜法需求简单、检测精度高、实用性强等特点使得其成为大口径光学系统检测的实用技术。