非接触式真空搬运技术研究现状和参考文献

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工业自动化作为一个重要手段，非接触式真空吸取技术已在半导体和液晶面板的处理，食品包装，机器人等许多方面得到了广泛的运用。所以今年，研究人员高度重视非接触工件夹持和输送技术。

非接触式真空吸盘是通过压缩空气经吸盘和工件之间的间隙排出，从而能够吸取工件。使用非接触式真空吸盘用和工件相等的力就能使得吸取力平稳，从而能够使工件吸取达到可靠性。然而力太大的话会使工件变形，也会破坏工件的表面。所以非接触式真空吸盘具有结构简单、成本低、安装方便、操作简单、维护成本低、可靠性高，寿命长等特点。随着硅晶片及液晶面板生产技术的发展，使用速度快，高效节能的非接触式真空搬运技术具有广阔的市场前景。许多学者在非接触式真空吸盘原理及应用上进行了大量的理论和实验研究。许多大型企业为了提高产品质量正在逐步切换到这样的非接触式真空吸盘。51245

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