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为了满足检定需求，必须采用绝对检验来检定标准平晶，而对于工作用的平晶一般采用相对检验法，绝对检验是一种多测试现象，属于干涉检验，采用移相法，通过改变干涉腔端口对象获得多幅干涉图，最后进行波面运算分离出面形误差值；而相对检验则不一样，相对检验通常在等厚干涉仪上完成，也有运用等倾干涉仪的，前者通过干涉条纹线的偏差来确定平面度值，后者测量某点对端点连线的偏差，再运用一系列公式计算出误差值。总体来讲等厚干涉仪测量法更为有效也比较简便，因此成为通用的方法[7]。