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在光学冷加工领域，平晶是常用到的计量器具，而平面度是其参数指标中极其重要的一个环节。作为测量标准其本身的平面度指标需具备良好的精度。从目前国内的计量器具发展来讲，除了部分计量单位和工厂添购了先进的数字干涉仪外，大部分还是依靠老式的人工目测读数，先前已有部分科研人员对现有的测量平面度的等厚或者等倾干涉仪做过改造工作，但是由于在实用过程中存在的诸多不如人意之处一直未能得到推广。63726
为了满足检定需求，必须采用绝对检验来检定标准平晶，而对于工作用的平晶一般采用相对检验法，绝对检验是一种多测试现象，属于干涉检验，采用移相法，通过改变干涉腔端口对象获得多幅干涉图，最后进行波面运算分离出面形误差值，对于平面的绝对检验一般有三面互检，四面互检，这种方法不需要与标准平晶作对比。而相对检验则不一样，相对检验通常在等厚干涉仪上完成，也有运用等倾干涉仪的，前者通过干涉条纹线的偏差来确定平面度值，后者测量某点对端点连线的偏差，再运用一系列公式计算出误差值。总体来讲等厚干涉仪测量法更为有效也比较简便，因此成为通用的方法。论文网
由于激光技术的发展以及其优越性，如高亮度，单色性好，方向性好。所以现在的数字波面干涉仪的光源均采取激光来获取成相的相干光束，事实证明此方法可获得清晰度，亮度更高的条纹，本课题采用的就是波长为632.8nm的氦氖激光源。