1.1.2 衍射光学元件(DOE)的发展背景
二元衍射光学微透镜,与我们正常意义上的透镜、反射镜、棱镜和光栅这些以几何光学理论为基础的光学元器件是有区分的[3],主要就是它是以衍射原理为基础的衍射光学元件。伴随着超大规模集成电路、计算机辅助设计和光刻技术的进步,二元衍射光学元器件的制作、应用也得到了长足的发展和进步。
与传统的光学元器件相比,这种利用微电子雕刻的新型光学元器件具有小尺寸、小重量、易拷贝、低造价、高衍射效率、多涉及自由度、宽材料可选性、独特色散性能等特点[4] :
(a) 高衍射效率;将近100%的衍射效率可以通过亚波长微结构和连续相的面形达到。
(b) 独特的色散性能;新的非球面设计和温度补偿等技术中已经广泛使用这一色散特性。
(c) 更多的设计自由度;传统光学的设计变革就是设计出功能更加多的全信功能光学元器件。利用波带片的位置、槽宽与槽深及槽型结构来改变或者是产生任意波面,大大增加了设计变量。
(d) 宽广的材料可选性;二元浮雕面形转移至玻璃、电介质或金属及地上,可用材料范围大;除了对光学系统的红外材料的选择,一些材料因其不良的光学性能,通常的使用是有限的,但在两个光学元件之间,可以在宽带的使用上做色差消除。此外在远紫外有用的光学成像波段展宽1000倍,就是利用这一特性。
(e) 特殊的光学功能。我们可以使用很多传统光学波前不能使用的波面,比如说环状面、非球面、镯面和锥面等,并且可以继承,而且在此基础上可以得到多功能元件。亚波长结构的使用可以得到大视场,大宽带,偏振特性和防反射,并且在小型化,阵列化,集成化等方面发挥着极其重要作用。
关于阵列化、集成化及任意波面变换等传统光学元器件难以完成的任务,二元衍射光学元器件都能轻易实现。因为这些特点,二元器件在国防、军事等方面的应用前景十分宽广。国防、军事要求的高、精、尖、快速打击、安装、修复要求,二元光器件都能很好的完成。由于色散特性和传统的光学设备有很大的不同,在构成折射/衍射混合光学系统原则的基础上的聚焦能力,提供最常规的折射元件的表面,再利用表面上的浮雕相位结构同时校正多重相差,可以大大提高战略和战术武器光学系统的成像质量[5]。
1.1.3 国内外发展情况
1.1.4 衍射光学器件的设计理论
衍射微光学器件的设计问题和光学变换系统的相位恢复,是非常相似的。这是设计问题的实质。已知光学系统中的入射光的光场,还知道输出光的光场分布,然后利用这些数据来计算输入平面上调制元件的相位分布,正确调制入射光场,用高精度的预期输出图像,来实现所需功能[8]。随着微细加工工艺水平的发展和衍射元件应用领域的扩大,衍射微光学期间的特征尺寸进一步缩小,其设计理论已经逐渐从标量理论向矢量理论扩展。
如果衍射微光学器件的特征尺寸比光的波长大得多,并且输出平面的距离到衍射元件足够远,那么标量衍射理论就足够进行衍射场精度分析。光波是一种电磁场,所谓标量衍射理论,就是只考虑电磁场一个横向分量的复振幅,而假定其他分量可用类似的方式单独地进行处理[9]。在理论上,衍射光学元件的设计被视为一个高文多变量函数的优化问题,已知条件时入射场和输出光场,未知数时衍射元件的相位分布,根据目标函数的功能结构来实现的,比如通过一个或多个优化的算法计算装置的相结构。所谓优化算法,其结果不可能使输出光波与期望光波完全符合,其接近程度取决于算法本身。 Matlab二元衍射微透镜的设计(2):http://www.751com.cn/wuli/lunwen_15424.html