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静电力作用下微梁的变形及仿真(5)

时间:2021-05-20 21:26来源:毕业论文
(2-2) 在导体之间所施加大小不变的电压U,而改变导体之间的距离并将其视为虚位移时,相应的也会引起电容C的变化,此时两板之间存储的电势能就等于静

(2-2)

在导体之间所施加大小不变的电压U,而改变导体之间的距离并将其视为虚位移时,相应的也会引起电容C的变化,此时两板之间存储的电势能就等于静电力在虚位移上所做的虚功:

(2-3)

应用上式只需要知道两导体间的电容,即可直接计算出两导体之间的静电力。

2.2平行板电极间的静电力

大多数情况下,微结构静电力分析中一般都采用无限大平行平板的静电力计算公式,下面分别采用库仑定律和虚功原理来推导静电力公式。

静电力作用下微梁的变形及仿真(5):http://www.751com.cn/wuli/lunwen_75316.html
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