图2.1 正压电效应(虚线为作用后状态)
图2.2 逆压电效应(虚线为作用后状态)
2.2.2 压电方程
PVDF即聚偏氟乙烯是一种半结晶性聚合物。PVDF压电薄膜的制备工艺包括成膜、拉伸、上电极、极化等几个步骤[19]。PVDF薄膜主要有两种晶型,即 型和 型, 型晶体不具有压电性,但是PVDF膜经滚延拉伸后,PVDF膜中的 型晶体就会变成 型晶体结构。拉伸极化后的PVDF薄膜在承受一定方向的外力或变形时,材料的极化面就会产生一定的电荷,即压电效应。
当在PVDF压电薄膜上施加一个与极化方向平行的压力F,或使PVDF发生形变时,片内正负束缚电荷直接距离变小,极化强度也变小,因此原来吸附在电极上的自由电荷有一部分被释放,呈现放电现象。此时把电压表接在PVDF压电薄膜两电极之间,读数不为零;但随着放电电荷越来越少,读数越来越小直至为零,表明内部极化束缚电荷与电极上自由电荷达到新的平衡。当压力撤销后,PVDF压电薄膜膨胀复原,片内正负束缚电荷之间距离变大,极化强度增加,因此,又有一部分自由电荷补充到电极上而呈现充电现象。此时把电压表接在PVDF薄膜两电极之间,读数仍然不为零,读数的变化规律也是越来越小直至为零。这就是PVDF薄膜的正压电效应机理。压电器件的测量原理是压力与转移的电荷量成某种函数关系。
基于PVDF薄膜制作传感器来进行动态力测量,就必须要知道PVDF薄膜的压电特性。对于比较小的PVDF薄膜其表面电荷量与其拉伸方向的应变关系为:
(1)
式(1)中 为t时刻PVDF表面的电荷量; 为 时刻PVDF表面的电荷量; 是PVDF的弹性模量; 为压电常数; 是t时刻PVDF拉伸方向的应变; 分别为PVDF的长度和宽度[20]。
其中PVDF膜表面的应力为
= (2)
预设的 ,在t时刻时,PVDF压电薄膜受到一个正向压力的作用,引起PVDF膜的形变,从而上下表面的电荷发生转移,使之有电荷输出,只要测出这个输出的电荷量的大小,就可以根据式(1)和式(2)得到PVDF膜表面所受到的应力的大小。
2.2.3 PVDF膜的工作模式
PVDF膜在使用过程中一般是粘贴在一定的结构上面,因其质轻柔软对结构的影响可以忽略不计。PVDF膜工作模式分为拉伸模式和厚度模式,本课题采用的是厚度模式。采用刚性材料作为PVDF膜的基底,在施加一个正向压力时,可认为PVDF膜在厚度方向上发生形变,可以近似将其他方向上的形变忽略不计。其工作在厚度模式或者称 模式,相应的压电方程使用与之对应的压电系数 ,则压电方程为
(3)
2.3 传感器结构受力分析
PVDF压电薄膜具有良好的压电效应,PVDF拉伸极化后具有4mm点群的对称性,常选取x轴作为拉伸方向,z轴垂直于膜面平行于极化方向,y轴依右手定则来选取,如图2.3所示。
图2.3 PVDF压电薄膜示意图 基于PVDF膜的动态力测量传感器设计(4):http://www.751com.cn/jixie/lunwen_4395.html