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内部来源。人表皮脱落、工艺设备和制造过程本身就会产生粒子。粒子的最大来源是你的人体，每分钟几百万粒子产生在一个洁净室。为了有效的对粒子进行控制，应制作新的洁净室服装,设计合适的净化过程。作为在洁净室的工作人员,他们平时可能从外界携带粒子。而一些其他的日常活动也可能带来更多的粒子。
虽然粒子浓度在洁净室可以用来定义其清洁程度。实际粒子沉积在表面是更大的问题。了解气象科学、过滤理论和流体运动主要是为了进行污染控制。洁净室设计人员可能无法完全控制或防止内部粒子的产生,但他们可以预见到内部来源以此来设计控制机制和气流模式来限制他们对产品的影响。
纤维空气过滤器
适当的空气过滤阻止大多数外部生成的粒子通过空调系统进入洁净室。空气过滤器有两种类型:高效微粒空气过滤器(HEPA)，超低穿透空气过滤网过滤器。过滤器使用玻璃纤维纸技术;工作人员将一些特殊应用程序开发出来。过滤器褶深度可从25到300毫米深度;可通过面积增加过滤器和褶间距。
超低穿透空气过滤网(过滤器捕获微粒的方式有四种:(1)传导。(2)惯性,拦截(3),(4)扩散。传导发生在滤波器，当粒子进入两个通道之间由于两个通道间距尺寸不足讲粒子拦截其中
粒子质量足够小导致气流无法通过过滤纤维网。扩散使得非常小的粒子进行了无规则的布朗运动;他们接触并填充过滤网。科学家的理论和模型验证了拦截和扩散粒子的是过滤器。这是由于过滤器过滤网的直径、分散度或网格密度、粒子速度和空气扩散速率引起的。对于大多数过滤器滤网之间的差距是0.1到0.3。过滤器额定效率基于0.3和0.12 。p m粒子大小有区别，不同类型的过滤器可以更方便的满足各种洁净室的应用。表2为不同的规格类型的过滤器,有不同的过滤效率,和特殊的应用场所。
空气模式控制
空气扰动：在干净的空间由于空气强烈流动影响到了空间内的人流量,工艺设备布局。优化气流模式进行与其相匹配的操作¬是良好的洁净室设计的第一步。用户所需求的清洁水平,工艺设备布局,可用空间安装(即空气模式控制设备。、空气处理程序、清洁工作站、环境控制组件,等等),以及项目财务考量这些因素加在一起影响到最后的空气模式设计的选择。各种气流模式配置都是有可能的,但是他们基本分为两大类:多向气流通常称为紊流)和单向气流(通常称为层流)
紊流多呈现循环特性或非平行流。变化主要基于送风入口的位置,吸气/排气出口和空气过滤器的位置。单向的气流的例子制药洁净室系统如图2和图3所示。空气通常是提供给空间里的过滤器(图2)或通过扩散器提供的过滤器的管道系统或空气处理程序(图3)。外部空气预滤器在供应站然后工作站在干净的空间(见图3)的左边。
¬是否是所需的清洁类是设计的前提，类似于图2和图3,主要从净化空气和空间污染的角度的考虑,污染性空气通过过滤器¬并通过空气处理设备 或管道系统,或通过高效微粒空气过滤器供应设备来进行净化。在内部生成的洁净粒子，清洁工作站为工作站提供了干净的空间。
单向气流
单向气流,虽然不是真正的层流,但是¬在工业区作为一个在单一方向流动的空气，与洁净室和一般流线平行。理想情况下,流¬线是不间断的;尽管人员活动和设备的运转产生的气流扭曲了流线,仍然近似于匀速运动状态。大多数粒子遇到障碍物-被阻塞定向气流也会继续围绕它的气流本身重新确立运动的轨迹和方向。