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    4.2.3  TiN薄膜的表面形貌分析    15
    4.2.4  TiN薄膜的硬度分析    16
    4.3  最佳工艺条件下制备TiN薄膜的XRD分析    17
    4.4  N2分压对TiAlN薄膜表面形貌的影响    18
    4.5  N2分压对TiAlN 薄膜厚度的影响    19
    4.6  N2分压对TiAlN薄膜硬度的影响    19
    4.7  TiN和TiAlN薄膜的力学性能比较    20
    结  论    21
    致  谢    22
    参考文献    23
    绪论
    1.1 课题背景
    20世纪80年代以来,随着科学技术的发展,传统工具已不能满足更为严格的工业生产要求,人们迫切需要一种高硬度、高强度、高耐磨损材料涂层。因此,TiN涂层以其优异的机械性能得到广泛的应用,并由此引发了工具表面处理技术的一场革命。此后,在TiN薄膜的研究基础上,各种硬质薄膜的研究层出不穷。其中,TiAlN膜层以其优异的力学性能备受青睐,如今已经成为研究最为热门的硬质薄膜涂层之一。但是,传统的沉积工艺制备TiAlN薄膜时,由于弧流的不稳定等因素,膜层表面易产生大颗粒,从而降低薄膜表面的平整度,严重影响薄膜的耐磨性。因此,需要找到一种适合制备TiAlN薄膜的沉积工艺。
    目前,沉积TiAlN膜层时较多采用Al-Ti合金靶,其主要原因是合金靶材具有较高的熔点(与纯Al、Ti分离靶相比),沉积过程中可以降低大颗粒的产生。但是,Al-Ti合金靶也有其明显不足,首先价格比较昂贵,其次工艺可重复性变差,严重影响后续薄膜性能的评定。
    因此,本文采用分离靶(双金属靶)形式的真空电弧蒸发法,辅以直流磁分离技术,制备出TiN、TiAlN超硬膜。改变工艺条件,沉积多组TiN、TiAlN薄膜,并通过一定的分析和表征手段对薄膜的表面形貌、晶体结构、机械-力学性能进行综合评定,确定最佳工艺参数。
    1.2  真空镀膜技术
    1.2.1 真空镀膜技术的发展
    真空镀膜技术起始于20世纪30年代,40年代初步应用于工业生产,七、八十年代开始应用于工业化大规模生产。这一技术目前得到飞速发展,在包装、电子、宇航、烫金印刷等领域应用最为广泛。其主要原因是以真空技术为基础结合磁控、离子束、等离子体等一系列的新技术,利用PVD或CVD方法为科学研究与工业生产提供了新的制备工艺和装置[1,2]。
    按照沉积原理真空镀膜技术可以分为以下三类:
    (1)真空蒸发镀膜技术
    真空蒸发镀膜技术发展最早,是目前应用最为广泛的一种制膜技术。该技术是在高真空条件下,通过加热蒸发源使靶材蒸发,逸出的蒸气粒子通过运输,直接到达基片表面上。由于基片表面温度较热蒸发源低,蒸气粒子凝结在基底表面而成膜。蒸发膜材所用的热源有很多种,其中,电子束热源近年来被广泛应用。这种热源具有较为明显的优点,首先其加热温度范围宽、能量大,加热效率高,其次,坩锅采用水冷模式,能较好的保护膜材不受污染,有利于提高膜的纯度[3]。
    (2)真空离子束沉积技术
    真空离子束沉积技术是在真空状态下,通过蒸发或溅射的方法,使靶材表面游离出金属原子,然后在高能电子的轰击下使其电离。这些离子在外加磁场的作用下聚焦到真空镀膜室的基底上。离子束沉积法制备金属氮化物超硬膜有其明显的优越性,其原因是有多方面的。首先,该技术不仅可以制备多元金属化合物,而且也可以改变物质的结构状态,能够按照人们的预期制备出性能符合标准的目标产物。其次,在沉积过程中能够对离子束进行精确的控制。研究表明等离子体的特殊性能能够在真空镀膜技术中充分展现,在电场作用下等离子体还能获得较高的能量,使粒子的自由度提高到10-1~102cm[4]。所以,真空离子束沉积技术是一种全新的制备超硬膜的方法,其制备工艺的最佳条件还有待进一步研究。
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