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    (2)    耐腐蚀性能
    除了具有良好的耐磨性能,TiN薄膜还具有较好的耐腐蚀性能。除硝酸外,TiN薄膜不溶于其他任何稀酸,具有良好的耐酸性。在相同的外部环境下,TiN薄膜耐腐蚀性能的优劣主要由薄膜自身的品质所决定。研究表明:膜层的表面形貌越平整,薄膜的耐腐蚀性能就越优异。膜层较厚的TiN比膜层较薄的耐腐蚀性好[9]。因此,在实际生产中适当增加薄膜厚度可以有效提高TiN薄膜的耐蚀性能。
    (3)    光学性能
    TiN薄膜的特殊结构决定了其具有特殊的光学性能[10]。研究表明,在沉积薄膜的过程中,N2流量能较大限度的影响薄膜的结构,当N2流量较小时薄膜中主要是颜色较浅的Ti2N,当N2流量较大时薄膜中生成颜色较深的TiN [11]。
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