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2.4 本章小结 14
3 三维有序大孔Fe2O3骨架的制备及表征 14
3.1 三维有序大孔（3DOM）金属氧化物制备原理 14
3.2 三维有序大孔（3DOM）Fe2O3骨架制备实验 14
3.2.1 实验材料及测试仪器 14
3.2.2 实验过程 15
3.3 三维有序大孔（3DOM）Fe2O3骨架SEM、XRD表征 15
3.4 本章小结 16
4 Al/ Fe2O3纳米铝热复合薄膜的制备及表征 17
4.1 磁控溅射镀膜及实验装置 17
4.2 磁控溅射镀膜实验过程 18
4.3 Al/Fe2O3纳米铝热复合薄膜的表征 18
4.3.1 SEM表征 18
4.3.2 XRD物相分析 19
4.3.3 DSC热分析 20
4.4 本章小结 21
结 论 22
致 谢 24
参考文献 25
1 绪论
1．1 MEMS 火工品
近年来，MEMS火工品成为火工技术研究的前沿，其优点有：
1）微型化：力求做到体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短等，以提高器件的隐蔽性、快速作用能力；
2）集成化：可以将不同功能的器件集成于一体，形成微执行器阵列，作为一个复杂的微系统，便于多功能联动执行。同时减少不必要的空间占用和不同过程、不同功能间信号传导间隔；
3）易批量生产：在制作上可以批量生产，生产时间和生产成本可以大大减少；
4）高可靠性：能够在现代战争中高电磁辐射、高加速度、高温、高寒等恶劣环境下正常发挥效用。
由于MEMS火工品体积很小，很难保证较高的点火输出能力。众多学者考虑提高MEMS火工品内含能材料的单位质量点火输出能力，传统的有机含能材料分解温度低，不易引入MEMS体系，这时复合含能材料成为一种新的构想。复合含能材料具有较高的能量密度，反应温度高，适于MEMS工艺，但其反应速率较慢，纳米尺度的材料由于表面效应的作用，具有极高的表面能，可以与周围其他材质快速反应，采用纳米尺径材料制成的含能复合材料具有适宜MEMS体系的较高能量密度。
1．2 MEMS火工品用含能薄膜研究现状
1.2.1 金属/金属纳米复合含能薄膜
1.2.2 Al/金属氧化物纳米复合含能薄膜
1.2.3 含能半导体桥
1.2.4 纳米多孔硅/氧化剂复合含能薄膜
1．3 本论文研究内容