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5.1.1 实验方案 37
5.1.2 小孔直径检测结果 38
5.1.3 直径检测实验分析 39
5.2 针孔衍射波前检测研究 40
5.2.1 实验方案 40
5.2.2 衍射波前检测结果 41
5.2.3 误差分析 42
5.3 点衍射板干涉研究 43
5.3.1 实验方案 43
5.3.2 干涉测量结果 44
5.3.3 波面计算 45
5.4 本章小结 46
结 论 47
致 谢 49
参考文献 50
图表目录
图 1.1 PDI原理图 2
图 1.2 光栅式移相点衍射干涉仪结构示意图 3
图 1.3 测量光路图 4
图 1.4衍射波面示意图 5
图 1.5 分析计算模型 5
图 1.6 小孔衍射波前的仿真模型 6
图 1.7 点衍射干涉仪工作原理图示 6
图 1.8 任意形状小孔模型 7
图 1.9 仿真几何模型 7
图 1.10 卢增雄等人利用FDTD方法计算获得的小孔衍射近场振幅及相位分布,其中a,c分别为X方向剖面的振幅和相位分布,b,d分别为Y方向剖面的振幅和相位分布 8
图 2.1点衍射波前检测系统示意图 11
图 2.2 点衍射干涉数学模型示意图 13
图 2.3 圆孔径光学系统夫琅和费衍射仿真效果图 14
图 2.4 小孔衍射波面示意图 15
图 3.1 6um理想小孔衍射波前与标准球面波误差波面 17
图 3.2不同直径小孔衍射波前PV和RMS值 18
图 3.3不同椭圆度小孔衍射波前PV和RMS值 19
图 3.4 小孔粗糙度设置 19
图 3.5不同粗糙度小孔衍射波前PV和RMS值 20
图 3.6 4um小孔不同横向离焦时衍射波前PV和RMS值 20
图 3.7 艾里斑光强分布 21
图 3.8 横向离焦12um时小孔内光强分布 21
图 3.9 1um小孔不同横向离焦时衍射波前PV和RMS值 21
图 3.10 含1λ像差的焦面光场分布 22
图 3.11 1λ球差横向离焦曲线 23
图 3.12 1λ彗差横向离焦曲线 23
图 3.13 1λ像散横向离焦曲线 24
图 3.14 1λ离焦横向离焦曲线 24
图 3.15 4um小孔含不同像差时衍射波前PV和RMS值 25
图 3.16 含8λ像散时不同直径小孔衍射波前PV和RMS值 25
图 3.17 条纹对比度与干涉光强比n关系图 26
图 3.18 不同直径时小孔有效透过率与点衍射板最佳透过率曲线 27
图 3.19横向离焦时小孔有效透过率与点衍射板最佳透过率曲线 28
图 3.20 不同横向离焦时干涉光强比曲线 28
图 3.21 1um小孔横向离焦时的光场分布 29
图 3.22 不同像差时点衍射板最佳透过率曲线 29
图 3.23 8λ像散不同轴向离焦时点衍射板最佳透过率曲线 30
图 3.24 8λ像散不同横向离焦时点衍射板最佳透过率曲线 30