2.1 脉冲激光沉积
脉冲激光沉积(PLD)原理[14]:如图2.1所示,功率大的脉冲激光器产生激光束,经过一个会聚透镜,会聚的激光束会射在靶体材料的表面,此时的真空泵已经将系统内抽为真空。受到激光束照射的材料表面温度会逐渐升高,产生溶蚀,然后等离子体( )会逐步产生,于是定向局域膨胀发射,最后会在作为衬底的基片上面沉积,最终形成薄膜。一般,认为它可以分为3个过程。
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