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摘要现代光学薄膜广泛运用于各个光学系统中，光学系统为了提高光学仪器的精度通常在其表面镀制光学薄膜来提高仪器精度而光学薄膜又可实现仪器精度得到较大提升。 本文主要研究了太阳能望远镜在法布里-珀罗干涉滤光原理下经腔内反射之后如何提高其成像效果的手段，并得出一种可行方法是通过提高腔内反射面表面镀膜膜系精度和反射率，并降低其损耗从而达到要求，并针对于这种方法本文设计了一种膜系结构使得其腔内反射率高达 99%以上，并镀制出 4组SiO2和 TiO2高反薄膜样品，经测试可知在误差范围内满足设计要求。 60393
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毕业论文关 键 词 ： 太 阳 望 远 镜 法 布 里 珀 罗 滤 光 器 高 反 膜
Title A Design of Solar Telescope base on Fabry-Perot interferenc filter comply high-reflection films with wide spectrum
Abstract Modern Optical films are widely used in various optical systems, the optical system in order to improve the accuracy of the optical instrument is usually coated on the surface of the optical film to improve the accuracy of the instruments and precision instruments optical film can be achieved a larger increase. This paper studies the solar telescope under the Fabry-Perot interference filter principle how to improve the effectiveness after reflection through the cavity, and come up with a feasible way is by increasing the cavity reflector surface coating film system accuracy and reflectivity, and reduce its losses to achieve the requirements, and in this way for the paper designs a membrane system makes its cavity reflectivity as high as 99%, and coating four groups thin films of high-reflection coated SiO2 and TiO2.The films tested within the error range known to meet the design requirements.
Keywords：Solar Telescope Fabry-Perot interference filter high-reflection films
目录
1． 绪论.. 1
1.1 课题背景及意义.. 1
1.3 主要研究内容. 4
1.4 本章小结 . 4
2. 法布里干涉滤光器原理及介绍.. 5
2.1 法布里玻罗干涉仪介绍.. 5
2.2 本章小结.. 7
3.高反膜的结构和数学模型.. 8
3.1 反射膜介绍 8
3.2 金属高反膜 8
3.3 多层介质高反膜.. 8
3.4 本章小结. 10
4.膜系设计 11
4.1 膜系设计软件应用 . 11
4.2 膜系材料的选择和分析. 11
4.3 膜系理论设计 .. 12
4.4 本章小结. 22
5.镀膜工艺及样本分析.. 23
5.1 真空镀膜机原理及 ptk镀膜机介绍 23
5.2 高反膜样品的制备.. 26
5.3 样品数据测量及分析 .. 29
5.4 本章小结. 35
结论 36
致谢 37
参考文献.. 38
附录1 . 40
1． 绪论 1.1 课题背景及意义 早在上个世纪科学家们认为太阳物理将要进入空间探测的新阶段就必须配合地面的观测，当高空间分辨率及高分光分辨率的大型仪器的投人使用，可望提供大量全新的资料. 结合等离子体物理和磁流力学等方面的理论研究以及大型计算模拟，则有可能对太阳物理研究有重大的突破[1]。 而鉴于我国在空间探测(包括太阳空间探测)方面的落后局面， 有必要加强在国家层面上的总体规划研究.。为此，中国科学院在 2006年布置了空间科学中长期发展规划研究，一期(2006–2008)研究规划到 2025 年，二期(2009–2011)研究规划到2030年以后又制定了至 2050年的空间科技发展路线图。 在这些规划中“空间天文和太阳物理”是六大主题之一， 在空间科学探测领域占有重要地位 [2]。