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摘要本论文采用射频磁控溅射法在不同的制备参数下分别在石英玻璃衬底和铝合金衬底上制备了La0.7Ca0.165Sr0.135MnO3薄膜，采用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)等测试手段对薄膜的晶体结构和表面形貌进行了表征，研究了样品在231K～373K温度范围内的辐射特性。最后针对溅射过程中靶材碎裂的现象作了简要地研究。结果表明，在较低的沉积温度下，不利于薄膜的结晶，另外需要提高衬底的表面光洁度来改善薄膜的质量。辐射特性测量结果表明，制备的薄膜样品的发射率随温度增加呈升高趋势，但是发射率总体变化幅度很小，与块状材料的辐射特性相比，二者有很大差异。关键词 热致变色 钙钛矿 可变发射率 磁控溅射 10410
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毕业设计说明书（论文）外文摘要
Title Study on radiation property of thin layer thermochromic material
Abstract
In this thesis, La0.7Ca0.165Sr0.135MnO3 thin films were prepared at different parameters by radio frequency magnetron sputtering on quartz glass and Aluminum alloy substrates, respectively. The crystal structure and surface morphology of La0.7Ca0.165Sr0.135MnO3 thin films were characterized by X-ray
Diffraction (XRD) and atom force microscopy (AFM) and that the temperature dependence on emittance is studied from 231K to 373K. At last, the phenomenon that the target fragments during the sputtering is investigated. The results suggest that it is not conducive to the crystallization at the lower deposition temperature. Besides, it is necessary to improve the surface smoothness to improve the quality of the films. The results of the radiation property show that the emissivity of film samples showed an trend with increasing temperature, but the overall emission rate changes slightly . Compared with the radiation properties of bulk materials, much difference is found between thin sample and block material.
Keywords thermochromic perovskite variable emittance Magnetron sputtering
目 次
1 绪论 2
1．1 引言 2
1．2 热致变色可变发射率功能材料简介 2
1．3 薄层热致变色可变发射率材料国内外研究现状 2
1．4 论文的研究意义和主要工作 2
2 热致变色薄膜样品的制备方法及表征 2
2．1 薄膜样品制备方法简述 2
2．2 射频磁控溅射制备方法 2
2．3 薄层热致变色功能材料磁控溅射工艺 2
2．4 薄层样品的测试与分析方法 2
2．5 本章小结 2
3 薄层热致变色薄膜材料的制备及辐射特性研究 2
3．1 引言 2
3．2 薄层热致变色材料样品的制备 2
3．3 实验结果与分析 2
3．4 靶材碎裂现象的分析 2
3．5 本章小结 2
结 论 2
致 谢 2
参 考 文 献 21 绪论
1．1 引言
空间环境轨道中飞行的航天器目标，由于其表面红外辐射主要受太阳辐射、地球-大气层反射的太阳辐射及地球-大气层自身辐射等空间轨道外热流和航天器目标自身内热源的综合影响，同时，由于空间环境是包括无限容积、真空、低温以及荷能粒子辐射等多种因素的综合环境，它们与航天器目标之间长期相互作用，产生各种环境效应[1]，使得航天器目标表面的红外辐射特性不断发生变化。航天器热控技术主要用来控制航天器的温度在室温附近来文持航天器目标中的电子元器件的正常工作。