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超声波电机因其众多独有的特性，从其首次出现就得到人们的重视，在国内外取得了飞速发展。超声波电机是一种复杂的机电耦合系统，它的设计运行涉及自动控制、电力电子、振动学、摩擦学等众多学科。23615
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20世纪60年代，前苏联的科学家提出了依托压电效应制造超声波电机的设想[4]。
1969年，英国Salford大学两名教授研发出一种特制的伺服压电马达，该马达设计上采用双片压电式结构，其运行速度、运行方式、运行方向均可任意变化，而且它的响应速度是普通的电磁电机无法达到的[4]。
20世纪70年代中叶，美国与前苏联先后取得超声波电机的原理性突破[3]。
20世纪80年代初叶，日本Toshiiku Sashida等数位科学家研发出了用振动片驱动的超声波电机，并且在此后一直致力于将此前的原理性超声波电机的原理模型开发为能完成特殊任务的实用型超声波电机[3]。这些研究为此后数年日本在超声波电机研究及实用化生产做出了巨大贡献。20世纪80年代直至90年代初叶，日本便开始了超声波电机在商业领域的大规模应用，产品涉及电子产品及精密仪器。直至今日，不管是在超声波电机的原理、技术发展方面，还是投入生产的实际应用方面，日本均走在世界前列。
近几年，欧美诸国也已日益重视超声波电机的研发、生产，这其中尤以美国发展最为快速。1994年至1998年，美国的宾夕法尼亚州立大学在超声波电机的理论研究、产品开发方面的投入就达上千万美元[3]。除此之外，麻省理工学院、密苏里大学、喷气推进器实验室、加利福尼亚大学伯克利分校及美国国家航空航天局等大学及机构都在超声波电机研究方面取得了丰硕成果[2，3]。
我国在超声波电机理论研究及产品开发方面起步较晚，这主要是上世纪我国较为落后的工业生产能力及研究投入较少所致。20世纪80年代末，国内报道了许多有关国外超声波电机实用性应用的新闻，此领域的研究开始得到国内众多大学、研究所科学工作者的关注[2],并在随后数年取得了飞速进展。其中尤以清华大学、东南大学和浙江大学这些高校以及中科院、西安微电机研究所等科研院所较为突出。1989年清华大学由董蜀湘、周铁英领导的团队研发出了目前国内体积最小的超声波电机（直径仅为1mm）,此项成果亦为国内首项该领域的专利，目前，这种电机有望在医疗等方面投入应用[2]。此外，东南大学研发的柱状夹心式、步进型以及行波型超声波电机等电机样机各项指标已经接近实用性要求；浙江大学所开发的纵矩、扭矩复合型超声波电动机重复定位精度已达0.025度，堵转力矩为10N•m[1,2]。论文网
总之，当前国内外在超声波电机领域内发展趋势主要为：①研发新型压电性能更佳，制备更为方便使用年限更为持久的材料，从而改良超声波电动机对各种复杂环境的适应能力[1]。②电机制作流程趋于集成化、体积趋于微型化，更好的发挥超声波电机结构简单、设计灵活的优点[1]。③电机发展方向更为实用化，主要与生物医药工程、航天航空工业以及电子产品业结合，有效提高工作的稳定性及效率[1]。
图1.1 相机所使用超声波电机 图1.2 柱体超声波电机定子振动原理
1.1.3 超声波电机特点
1.优点
1）低速大转矩、可直接驱动，无需减速机构[1]。
2）构造简单、质量小的特点决定其惯性小、可断电自锁、快速响应[2]。