现阶段由于运用了各种先进的测量手段和仪器使测量准确度和精度达到了很高水平。近年来工业上常用的测角方法按照测量原理大致可以分为三大类:机械式测角技术、电磁式测角技术和光学测角技术。机械式和电磁式倾角技术由于研究较早,技术已经非常成熟。其优点是简单、成本低,但是其设备体积庞大,测量延时大、精度低,多数情况下不能实时动态测量,而且不能实施非接触式测量,所以不合适高精度的角度测量。光学测角技术是随着新型光电材料和器件的出现而发展起来的,具有测量准确度高和非接触测量的特点[ ]。一般的机械和电磁方法有更高的准确度,而且更容易实现细分和测试过程的自动化。但是在很多场合,现有的基于光学测角技术的测角仪还是不能满足测量要求,有些被测量已经拓展到传统仪器难以达到的微小测量作业区域和不易携带的野外,某些需要大密度测量的场合,该倾角测量仪器更是无能为力。6604
建国初期,我国连简单的多面棱镜都需要进口。半个多世纪以来,计量工作者做了大量的工作,建立了我国的角度计量基准器和各级标准器,对角度测量的理论、方法和技术进行了深入研究,并研制出各种角度测量仪器以满足经济建设和国防需求。随着生产和科学的不断发展,角度测量越来越广泛的应用于工业科研等各领域,技术水平和测量准确度也在不断提高。
目前生产倾角传感器的厂商较少,但就产品而言,单轴倾角传感器居多,且分辨率较高。就国内产品而言,传感器与电路集成较少,且大多只提供模拟量输出。就传感器发展状况而言,从收集资料看,北京信息工程学院的产品在小型化及产品精度等指标方面较领先,如膜电位倾角传感器。就网络查询反馈看,产品主要集中在欧美几家大公司,如英国的Chino公司、德国的西门子公司、美国的Crossbow Technology公司、Atoms工程公司、Fredericks公司以及美国数字公司。就国外产品种类而言,其数量也较少,但从数字化、小型化、精度、重量、使用温度范围及线性度等指标而言,具有较高的实用价值。如LS系列产品分辨率可达到1.8 ,英国Chino公司SP 系列产品高度只有22nm,特殊的可达到16mm,可用于一些特殊场合。Crossbow公司CXTA、美国数子公司A2产品均属于数字产品,可以通过接口板直接与计算机相连。同时在查阅的过程中可以看出,加速度传感器由于其动态性能好,精度高,因此在倾角测量中也得到广泛的应用[ ]。
近年来,特别是随着电子计算机技术的蓬勃发展,使得角度测量技术得以实现自动化,极大的扩充了角度测量的应用范围。作为测量微小角度常用量具的水平仪,经历了从传统的气泡式水平仪到现代先进的光电式、电子式以及激光式水平仪。传统的气泡式水平仪的分度值一般分为1′、30″、10″、1″几个等级,对于较高精度的测量则需采用分度值为0.01 mm/(1″~2″)的合像水平仪以及分度值为0.005~0.01mm/m(1″~2″)的电子水平仪
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