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    已经有研究表明,短时间的退火能显著提高合金的物理性能。但NiMnX的薄膜仍处于起步阶段。刘超等人对Ar工作压强对NiMnGa薄膜成分影响的研究发现,Ar工作压强升高可以使得薄膜的价电子浓度升高,并且影响薄膜的化学成分,另外,调节Ar工作气压可以调整马氏体相变温度,使得薄膜马氏体相变温度高于或者低于室温,为其应用了打下一定的基础[20];陈峰华等人通过射频磁控溅射功率对NiMnGa薄膜成分形貌影响的研究发现,溅射功率较小时,晶粒都比较小,大小较为均匀,随着溅射功率的升高,晶粒有长大的趋势,因此,薄膜表面平均颗粒尺寸随着溅射功率的增大而增大,另外,通过对薄膜价电子浓度的分析发现,价电子浓度亦会随着溅射功率的改变而改变,从而影响晶体结构[21];高来勖等人通过直流磁控溅射NiMnGa磁驱动记忆合金薄膜的XPS研究发现,氧杂质的引入将导致马氏体相中 Mn 含量的降低, 对 Mn 的磁矩和磁感生应变以及力学性能造成一定的影响[22]。60606

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