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早期国内的白光干涉轮廓仪主要靠从国外进口，鉴于轮廓测量的重要性，白光干涉微观轮廓仪的研究越来越受到国内各研究所和高校等科研机构的重视。其中，华中科技大学的谢铁邦、郧建平、常素萍等在国产Linnik型6JA千涉显微镜的基础上[9-11]，加入工控机、垂直位移扫描工作台及图像采集处理系统，研制出了WIS(White一 light Interference Scanning)型白光干涉三维轮廓仪。该轮廓仪的垂直分辨率为0.5nm，垂直扫描范围为5mm，横向测量区域达到0.25mm，表面反射率0.3%-100%，干涉物镜的放大倍率40×，一次表面形貌的测量时间为15s-30s，可以用于表面轮廓、台阶、刻线、曲面形貌、膜厚、沟槽尺寸、MEMs三维尺寸等方面的测量[12]。63714
天津大学的张以漠、李朝辉、张红霞等自行设计研制出立式Miran型白光移相干涉侧[13]。并且建立了理论模型、研究了白光干涉移相算法、对Mirau干涉物镜和廓仪照明光路进行了光学系统设计、设计机械结构和移相系统等工作。论文网
浙江大学的严惠民、杜艳丽、曹向群等实现了非接触地、快速地测量超薄金属带厚度。顾培夫、薛晖等将光纤光谱仪和白光迈克尔逊干涉仪结合，在频域上分析白光干涉信号，实现光学薄膜厚度的测量，误差小于1nm。
中国科学院上海光学精密机械研究所的韦春龙等研制了Linnik型移相式轮廓仪，国外也有许多类似著作[14-15]。