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最早是White[10]和Askaryan[11]于1963年各自独立提出了用脉冲激光激发声波，前者考虑固体，后者考虑液体。接着Ramsden[12]和Bunkin[13]以及Stegman[14]观察到强激光在固体中产生的爆炸波（称LSD波）和大气中产生的点火或燃烧波（称LSC波）。实际上这两者均是激波，由介质破裂引起的，都有会随时间和距离增加而衰变为声波。自此以后激光激发应力脉冲的研究就不断的发展起来。67451
在1962、1963年，White[10]演示了固体靶由于吸收激光、微波、电子束等辐射脉冲而产生弹性波的实验，也提出了由瞬态表面热化而产生弹性波的一维理论。不久又演示了用红宝石激光器激发、用梳状换能器接收声表面波的实验[15]，这就是激光超声技术的开始。1976年Bondarenko等[16]首先将激光超声技术用于材料试验。用调Q红宝石激光器激发，用带宽为5kHz至150MHz，位移灵敏度为 的干涉仪检测由两层抛光的不锈钢板钳在一起的人工缺陷。1980年Calder等[17]用相似的方法（Nd：glass激光激发）检测来自1.56mm人工圆柱缺陷散射波。Wellman等[18]用能量为1J的红宝石激光器激发，干涉仪检测，分辨出两个直径为2mm的平行的人工钻孔缺陷。之后Hutchins和Nedeou等[19]用Nd：YAG，<0.8J和带宽为40MHz，灵敏度为1nm和具有低频稳定系统的干涉仪进行表面缺陷的检测。Monchalin[20]建成共焦法布里-珀罗干涉仪，首次实现了在1m远处对未抛光的钢板进行激光超声的检测试验。Bourkoff等[21]采用 ， 的染料激光器来激发超声，是使用低能量激光激发超声的开始。论文网
与激光超声检测技术应用相平行的研究是激光超声激发机制、模式和方法等。1979年Ledbetter等[22]最先检测到一次激发同时产生的纵、横波和SAW。只是激光的 ,检测时样品表面有损。Aindow等[23]用 的激光器，达到同样的结果。后来，在更低的光脉冲能量和确保样品表面无损时达到相同的结果。1980、1982年Scruby[24]，Dewhurst等人[25]对激光在金属中产生超声波形作了定量的测量，并用面内正交力偶模型解释了热弹条件下的激发现象，用垂直力模型解释了融蚀条件下的激发现象，为激光超声的应用技术打下了基础。1984年Rose[26]运用表面点源现象，求得在热弹条件下，聚焦激光束在金属表面激发超声波的解析表达式。这时已奠定了热弹条件下激发弹性波的实验和理论基础，自此以后，激光超声向更深入更实用的方向发展。