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我国进行椭偏仪的研究和生产起步比较晚， “TP-77型椭偏仪”[11]、“WJZ椭偏仪”是1970年[12]由我国首次自主设计生产的，基本依靠手动测量，误差极大，灵活性差。莫等教授在20世纪80年代初研发了TPP-1[13]型波长扫描式自动椭偏仪，它的波长范围在260〜860nm区间，接着他们在1987年将He-Ne激光光源配置到自动椭偏仪中提高了测量精确度[14]。椭偏光谱仪在他们的研究下于1989年实现了自动化，于1992年结合了角度快速变换系统，实现了精确度和自动化程度的提高[15] [16] [17] [18]。 1990年末， “HST-1型”和“HST-2型”[19][20]多功能智能椭偏仪由中国东师范大学研制生产，该仪器结合计算机技术，利用消光测量法自动完成对薄膜的光学参数测量，此次研究拉开了国内自动椭偏仪生产的帷幕。2000年以来，大批量生产自动椭偏测厚仪的厂家越来越多，如天津港东科技发展有限公司生产的“SGC-1型椭偏仪”，“SGC-2自动椭偏仪。”天津拓普仪器仪表有限公司生产的“TPY-1型椭偏仪”和“TPY-2自动椭偏仪”等。
本课题中薄膜的光学参数主要用SGC-2型 自动椭圆偏振测厚仪和TPY-2型 自动椭圆偏振测厚仪完成。