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1.2 MEMS硅微机械陀螺仪的基本原理及分类 MEMS 硅微机械陀螺仪的基本原理是科里奥利效应（Coriolis effect），即从旋转的非惯性参考系中观察一个运动的物体时，该物体似乎额外受到一个同时与旋转角速度和运动方向都垂直的力，也就是科里奥利力的作用，这个力的大小与运动的速度和参考系旋转的角速度成正比，通过测量科里奥利力的大小，在已知运动速度的条件下，就可以求出角速度的大小。 近年来，国内外陆续开发了多种 MEMS 硅微机械陀螺仪的结构方案。从驱动和检测的方式来看，主要有电磁驱动-电容检测陀螺、电磁驱动-电阻检测陀螺和静电驱动-电容检测陀螺等。电磁驱动的原理是利用电流在磁场中将受洛伦茨力的作用驱动敏感质量运动，电阻检测则是利用压敏电阻阻值的变化反映敏感质量块的位移；静电驱动的微机械陀螺仪是利用在电容器两端施加一定驱动信号，通过两块极板上电荷之间相互静电力驱动敏感质量块的运动，而电容检测原理正好相反，当电容器两极板间距变化时将引起电容的变化，检测电容的变化就可以得到敏感质量块的位移。 基于检测的物理量及敏感质量的运动方式，又可以分为线振动式微机械陀螺和扭转角振动式微机械陀螺。前者敏感质量块在 x轴（驱动轴）方向做振动，当陀螺在z 轴方向有角速度时，将在与 x轴和 z 轴都垂直的y方向上产生科里奥利力，通过检测y方向的位移就可以求出输入角速度的大小；后者则是质量块绕 x轴（驱动轴）做扭转摆动，当 z 轴有角速度输入时，y轴上将会产生角位移，角位移的大小反映输入角速度的大小。
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