附录2 13000 系列 CF-F阀体的配置表 32
1 引言 1.1 真空技术 在真空科学中,真空的含义是指在给定的空间内低于一个大气压力的气体状态,人们通常把这种稀薄的气体状态称为真空状况。随着现代科学的发展,真空,越来越成为一个重要的课题为人们所研究,究其原因,在于真空条件下可以实现很多常规条件下无法获得的现象,实现很多功能。 真空主要有如下几个基本特点:(1)真空状态下的气体压力低于一个大气压,因此,处于地表的各种真空容器中,必将受到大气压力的作用,其压强差的大小由容器内外的压差值而定;(2)真空状态下气体稀薄,分子之间、分子与其他质点(如电子、离子等)之间以及分子与各种表面(如器壁)之间相互碰撞次数相对减少,使气体的分子自由程增大;(3)真空状态下分子密度小,氧、氢等气体含量 ( 也包括水分的含量 ) 也将相对减少。 真空状态根据压力的不同,可以细分为超高真空、高真空、中真空、低真空、粗真空[1]。在不同的真空状态下、应用各种不同的真空工艺、达到为生产及科学研究服务的目的。可以说 ,从每平方厘米表面上有上百个电子元件的超大规模集成电路的制造,到几公里长的大型加速器的运转,从民用装饰品的生产到受控核聚变、人造卫星、航天飞机的问世,都与真空工艺技术密切相关。 真空技术在今后的发展,将会作为一种重要的技术被广泛运用,其发展方向,一是增加真空技术的运用领域;二是努力满足微小化领域(纳米科技和固体元件的研制)、巨大化领域(如核聚变的研究)的实际功能需求。
1.2 插板阀的发展及运用 从真空的角度上来说,真空阀门的主要要求有:通导调节性能好、源]自{751^*论\文}网·www.751com.cn/ 通导大、密封可靠等,插板阀在这些方面的有点是非常明显的,比如超高真空插板阀。超高真空插板阀主要在超高真空系统中运用,特别是对超高真空的环境要求比较高得半导体之中业中,主要用于真空系统的管道切断,管道接通和管路连接气体流量调节。 插板阀的运动部件即启闭件是闸板。插板阀闸板的运动方向与管路中的流体介质的运动方向相互垂直,在流体介质流通管路中的主要作用是切断、阻止流体介质的运动,一般情况下并不会起到调节阀或者节流阀的功能,并逐步取代了以往通用的切断阀门[2]。插板阀的原理简单地描述为,闸板上有一个与管路通径大小一致的圆口,通过闸板启闭使得闸板上的圆口跟管路通径不同程度的完全贴合、全通、部分贴合的动作(如图1所示)。
a.全通情况;b.部分贴合情况;c.完全贴合情况 图1.闸板启闭与管径的不同贴合程度 在现代工业生产中,插板阀的使用无处不在,从矿山、电厂、冶金行业[3]的选煤、排矸、排渣,到城市的污水处理、机械设备、公路建设设备、航空航天、轮船[4]、等等,从一般的工业管道到食品、卫生、医药等专业管道系统,插板阀都有运用。 插板阀按照驱动装置的类型来分,可以分为电动、电液动以及液动三种,每一种插板阀包含两种驱动装置,一种是负责通孔阀板与盲板阀板的转换用途的,另一种驱动装置是负责压紧阀板密封圈以实现密封[5]。其中,液压式插板阀的结构比较简单[6],电动插板阀又称电动插板门,具有精密构造,工艺性好,结构紧凑等特点。插板阀使用工况不同于一般工业管道阀门,其密封副的设计中,最为关键的是保证密封面上不积存物料[7],否则可能出现泄漏的情况。 插板阀工作平稳,结构简单,操作灵活,强度高,性能好,使用寿命长,省时与省力的优点。插板阀的结构如图 2所示,主要由锁紧螺母、丝杠螺母、手轮、丝杠、支架、填料压盖、填料、楔形压块、阀体、阀座和闸板等 11 个部分组成[8] 。通常情况下,插板阀的阀体、填料压盖采用铸造碳钢或不锈钢材质;闸板为不锈钢或不锈铁材质;阀杆为不锈钢材质;密封面有硬质合金或软密封两种。如有耐高温高压等特殊要求,阀体、闸板等可选用铬钼钢材质。