所以单晶炉的直流电源至关重要,若该电源受谐波的影响,便不能生成稳定的直流电源来产生稳定的温度,会严重影响生产,经济成本。因此,对单晶炉直流电源的谐波特性研究是必不可少的。
2.1 单晶炉直流电源的基本原理及建模来.自/751·论|文-网·www.751com.cn/
单晶炉直流电源是为单晶炉提供稳定的直流电源。其模型依照图2-1进行搭建,由整流变压器、整流部分、平衡电抗器、滤波电容组合而成[8]。为了能够在每个交流电源周期里,使输出整流电压脉动12次,在变压器部分,将其一次绕组采用不同的接法,两组的三项交流电源间相位变错开了30度。而且整流部分采用十二脉波可控硅整流电路,每个周期脉动12次从而实现。为了防止谐波问题,这里也采用了大电容滤波,进一步确保能生成稳定的直流电源,为单晶炉提供稳定的温度。