上海微系统所研制了一种三轴压阻加速度计，其性能优良，量程达 ，单片集成，结构如下图1.4所示。该加速度计的X轴与Y轴单元都是三梁-质量块的结构，而其Z轴是三梁-双岛的结构，此结构有以下优点：谐振频率高以及灵敏度高。该三轴加速度计三条轴的谐振频率为 、 以及 ，灵敏度分别是 、 以及 。
1.4  上海微系统所研制的三轴压阻式加速度计
对于电容式三轴MEMS加速度计，北京大学微电子所也有过相关的研究，其采用干法刻蚀的加工工艺并且设计的是梳齿式电极的结构。北京大学微电子所所研制的三轴MEMS加速度计的非线性度为 ，三个轴的灵敏度分别是 、 以及 。除此国内一些其他的单位对于三轴加速度计也进行过探究，也取得了一些不错的成绩，不过与国外比较而言依然差距较为明显，在此不再逐一列举[5]。 三轴MEMS加速度计的国内外研究现状(2):http://www.751com.cn/yanjiu/lunwen_15927.html