非接触搬运在现代化工业生产中的作用日益提高，近年来，国内外学者通过研究非接触式搬运技术，设计了较多的非接触搬运装置。其中大部分非接触搬运方式在工作条件及被搬运件属性等方面存在着较大的局限，制约了技术的通用性，而负压吸附式吸盘[10]的发展尤为显著。60821

基于负压吸附的搬运方式，由于不受吸取工件材质、形状等的限制且能较好地实现非接触的要求，且设备具有结构简单、成本低、操作容易、维修费用少、可靠性高等特点，而在半导体工程、液晶制造、包装、医药等许多方面具有广泛的应用前景[11-13]。图1.1、1.2为即负压吸附非接触搬运在集成电路加工与包装工程中典型应用。

图 1.1 集成电路加工包装工程

非接触式负压吸附搬运的基本原理：压缩空气流经吸盘装置的特殊流道后，产生负压并通过吸盘与工件之间的间隙排出，对工件产生吸附力，当吸附力与预搬运工件的重力平衡时，就达到了使工件悬浮的目的[14]。

根据负压产生方式的不同，可将非接触搬运方法分为伯努利式和涡旋式。图1.3、1.4分别为两者的工作原理示意图。

伯努利式负压吸盘的工作原理示意图

 涡旋式负压吸盘的工作原理示意图论文网

涡旋式与伯努利式相比，在相同耗气量的条件下能获得更大的吸附力，且效率更高、噪音小，这与集成化技术趋于对大质量、大体积工件操作的发展趋势相符合。但是，由于旋转气体在吸盘底部排出时，粘性流动对工件表面产生的剪切力作用，以及旋涡进动作用的影响，工件存在较强的旋转和振荡现象[15]。在实际应用中可以通过多个吸盘对称布置，使相对称的吸盘气流旋转方向相反的方法，来抑制工件的旋转和振荡[16]。