由于信息技术的发展和应用,现在可把实际的光学波面转化为数字平面,并且可以进行加减、旋转、分解和重构等多种数字处理,使平面绝对检测技术得以发展。国内外很多光学测量工作者对光学平面面形误差的绝对检测进行了多方面的研究,到目前为止,国内外对平面绝对检测的研究主要有:64815

早在1893年，Lord Rayleigh[13]就提出了液体平晶作为干涉测量的平面标准代替参考平面,液体平晶面趋近于数学上的理想平面,故测量精度很高。但是由于这种液面很容易受外界声音振动、温度变化、浮尘等因素的影响,因此对实验条件的要求很严格,制造成本过高，使这种方法很难大量生产。

最早的传统三面互检方法由0.schulz和J.sehwider[23,24]等人在1967年到1976年提出并发展的,这种简单的三面互检法利用三面两两组合测量,不能计算出每个平面的绝对平面信息,但只能检测出平面上沿直径的几条线的轮廓。

1954年，P.B.Keenan[16]提出了一种伪剪切干涉计量测试技术(Pseudo shear Interferometry, 又称为相减法或平移相减法)。伪剪切法平面绝对检测是通过标准平面和被检平面在某一固定位置的测量结果和被检平面在两个相互垂直方向移动后的测量结果相减后再累加求出被检平面的绝对质量,在三次测量过程中控制干涉仪系统误差不变。这种方法测量方程的数学表达更为简洁,同时也可以给出干涉仪系统误差。

1984年，B.S.Fritz[12]在传统三面互检方法的基础上提出了一种可程序化的三面互检法,利用Zernike多项式特性将平面的表面面形误差分解为某些正交基函数,然后采用最小二乘法将这些基函数拟合成被检平面的绝对面形。这种方法虽然要求进行大量的计算,但使平面绝对检验不再停留在几条线上,而是可以得到被测平面的整个面形。随着计算机技术的发展,这些计算已能很快的完成。

1992年，由Chiayu Ai和J.c.Wyant[20,21]提出了奇偶函数法,它也是在传统三面互检法的基础上发展起来的,除了传统三面互检法的三次测量外,再使其中一个平面转45°、90°和180°共六次测量。这种方法将波面分解为偶一奇、奇一偶、偶一偶、奇一奇函数项,再根据六次测量的结果分别求出这四项的值。论文网

1996年，由ChrisJ.Evans and RovertN.Kestuer[25]提出N次旋转消除系统非旋转对称误差的测量法,该方法是通过被测平面做N次360/N度的旋转测量,得到N次测量结果，并计算出可以消除系统的非旋转对称误差。

2001年，由K.R.Freischlad[22]提出了旋转剪切的方法,这种方法也是在传统三面互检法基础上提出的。与奇偶函数法和Zernike多项式拟合不同,这种方法在复原三个被测平面的波面时运用了傅立叶变换。

关于这方面的研究在国内外一直是光学测量领域的一个热点,国内浙江大学、南京理工大学等[13,14,15]单位对平面绝对检测的方法也有不同程度的研究,都是在液面基准法、伪剪切法和三面互检法的基础上的研究。由于上述方法在实际应用中各有不同的缺点,因此它们还只是一种实验方法。

而目前国内由南京理工大学首次提出的共轭差分平面绝对检验技术相比于之前最完善的差分法（伪剪切法）平面绝对测量技术来说，在精度上却有了大幅度提高。差分法由于需要分别向X轴，Y轴移动一个像素，从而产生了X轴，Y轴以及零点三个位置作为三组相关数据进行数据处理和优化，这就增加了其实验中产生误差的机会。而共轭差分法是分别向X轴，Y轴两侧分别移动一个像素，但减少了先后两次零点位置的信息，实际上是四个数据，两组相关，大大减少了实验及处理时产生的误差。此方法已经是平面干涉检测技术中最为领先、最为精确的。相信在不断地完善后，会成为国内大力发展的平面检测技术。 共轭差分平面绝对检验技术研究现状和发展趋势:http://www.751com.cn/yanjiu/lunwen_72163.html