1.4硅片表面处理
1.4.1硅片表面的处理目的
去处硅片表面的机械损伤
清除表面油污和金属杂质
形成起伏不平的绒面，增加硅片对阳光的吸收 单晶硅制绒工艺研究+文献综述(4):http://www.751com.cn/cailiao/lunwen_16255.html
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