1.1.3 气液反应合成法（VLS法）

  VLS技术是目前比较成熟的技术之一，是由Koczak M J等于1989年发明并申请的专利技术。如图1.2[11]，其原理是采用惰性气体为载体，将含碳或氮的反应气体通入含Ti、Si 等元素的高温熔体中，利用气体分解生成的碳或氮与合金中的Ti、Si快速反应，生成热力学稳定的AlN、TiN、TiC等陶瓷颗粒增强相。在该技术中使用的载体为惰性气体Ar；含碳气体一般用CH4，也可采用C2H4或CCl4；含氮气体一般用N2或NH3。不同的气体需要不同的分解温度，但一般在1200-1400℃左右可以充分分解。在反应过程中分解出的碳存在于Ar/H2气泡中，Ｃ和金属的反应发生于气泡的界面上，并受碳在气泡中的扩散速度，Ti、Si等元素在熔体中的扩散速度以及气泡在熔体内存在的时间所共同控制。