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镓掺杂氧化锌薄膜的制备及结构研究(3)

时间:2017-06-17 15:24来源:毕业论文
表1.1纤锌矿性ZnO晶体的基本特性(300K) 性质(单位) ZnO 晶体结构 纤锌矿结构 晶格常数(nm) a=0.3250 b=0.5205 密度(g/cm3) 5.675 熔点(K) 2250 键能(J/mo



表1.1纤锌矿性ZnO晶体的基本特性(300K)
性质(单位)    ZnO
晶体结构    纤锌矿结构
晶格常数(nm)    a=0.3250  b=0.5205
密度(g/cm3)    5.675
熔点(K)    2250
键能(J/mol)    284.1
禁带宽度(eV)    3.37(2K,3.437)
激子束缚能(meV)    60
电子有效质量(m0)    //C:me=0.28 m0;C: me=0.24m0
空穴有效质量(m0)    0.5
电子/空穴迁移率(cm2/V s)    200(电子)/5~50(空穴)
介电常数    8.1(E C);9.0(E//C)
折射常数 n    2
压电常数d33(pm/V)    11.9
声速(103m/s)    //C:6.0961;C:6.0776
热导率(W/cm K)    0.6
热膨胀系数(10-6/K)    //c轴:3.02, 4.75, c轴:6.51
比热(J/g k)    0.494
在ZnO晶体结构中,Zn2+离子半径为0.024 nm,O2-半径为0.036 nm,Zn-O键长1.9915埃,每个Zn原子与4个O原子构成四面体排布,晶体中负离子配位多面体为Zn-O4四面体,四面体的底面与C(0001)面平行,四面体的顶角正对向C(000 )面。很明显,Zn原子在C轴方向不是对称分布的,其分布偏向于(0001)面,远离(000 )面。
ZnO晶体不仅具有稳定的化学性质和物理性质,由于ZnO具有典型的纤锌矿751方晶体结构,因此它也是一种常见的压电晶体由于Zn和O的电负性差异,纤锌矿ZnO 既具有共价键晶体的特征也具有离子晶体的特征。实际的ZnO晶体中总是存在非理想化学计量比点缺陷,因此未掺杂ZnO晶体是典型的弱n型氧化物半导体。
1.2      ZnO薄膜的光电特性
早在三十年前,人们就发现了电子束泵浦ZnO体材料低温受激辐射,但由于其辐射的强度随温度升高而迅速衰减,故限制了该材料的使用价值。ZnO薄膜是一种理想的透明导电薄膜,可见光透射率高达90%,电阻率可低至10- 4•cm。ZnO在紫外波段存在着受激发射是其显著优点。1997,D.M. Bagnall和P. Zu,Z.K. Tang等人用分子束外延法,得到具有自形成谐振腔结构的ZnO薄膜,并首次观察到室温下400 nm附近的光泵浦紫外激光发射。图1.2是典型的ZnO薄膜室温PL谱[6],除了400 nm附近的本征UV峰外,还出现了520 nm附近的黄绿光波段的展宽峰,这主要是由薄膜中的氧缺陷引的。
 
图1.2 ZnO薄膜室温PL光谱
随激发电流密度增加,黄绿光相对下降,紫外光相对增强,谱峰变窄,发生红移,出射光出现方向性,如图1.3所示,而且在低能端还有其它谱出现。退火后,黄绿光辐射峰降低,而紫外辐射增强。
 
图1.3ZnO薄膜在不同电流下的CL谱
1.3      ZnO薄膜的发光机理
随着人们对ZnO研究的深入,已经发现了多种不同的发光机制,得到了在不同波长下的多个发光峰。这些发光机制包括带间跃迁发光,激子复合发光,杂质或缺陷能级跃迁引起的发光。下面对各种发光机制作简单介绍:
1.3.1   绿光的发光机制
目前人们普遍关注的是ZnO薄膜蓝-绿光发射的特性,以便使其作为一种绿色荧光材料应用于平板显示领域, 或用于制备短波长发光二极管。对于本征ZnO 薄膜发射绿光的解释已提出了多种模型。研究者普遍认为绿光与氧空位有关, 例如: 认为绿光来自氧空位与价带空穴之间的复合跃迁[7]、氧空位与锌空位之间的跃迁等。也有不少研究者认为绿光与锌间隙有关[8]。此外最近几年有些人提出与上述解释相反的观点,认为绿光来自导带底到氧位错缺陷能级之间的跃迁[9]。究竟哪种点缺陷在ZnO薄膜的绿光发射中占据主导地位,值得人们进一步的探索。 镓掺杂氧化锌薄膜的制备及结构研究(3):http://www.751com.cn/cailiao/lunwen_9297.html
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