1.5 本文主要工作

本文主要围绕：

A) 光电倍增管排气系统结构方案分析

包括：系统分析及总体结构设计、泵及阀门选择、管道尺寸确定。

B) 光电倍增管排气系统零件造型

包括：运用SolidWorks软件对排气系统各组成零件的三维造型、通过keyshot。

C) 光电倍增管排气系统零件装配及生成工程图

包括：运用SolidWorks软件对各个组成零件的组装、生成工程图、生成爆炸图。

2 光电倍增管排气系统结构方案分析

2.1 排气系统原理分析源]自=751-·论~文"网·www.751com.cn/

排气台是用于电子管及真空器件烘烤去气的专用设备，它是电子工业必用的设备之一。其功能是用于排除管体内部空间的气体及吸附在材料表面和渗透到材料内部的气体。它是制管过程后期阶段的工艺设备，其性能优劣直接影响制管质量和管子参数的稳定性。排气设备一般应具有极限真空度高、抽气速率大、能获得较清洁的真空等性能。

    光电倍增管所使用的排气系统为高真空排气系统，一个完善的高真空真空排气台组成主要由下列元件组成：抽气设备，如各种这空泵；真空阀门；连接管道；真空测量装置，如真空压力表；其他元件，如捕集器、除尘器、真空继电器规头、储气罐等，如图2.1[13]。被抽容器的极限真空度和工作真空度都由主泵9决定，抽气时，打开主泵9冷却水，然后开机械泵8，这时机械泵对子真空管道阀4和前级管道阀5到机械泵出口的一段管道抽气，当抽到符合扩散泵开启条件时，扩散泵打开，前级管道阀5关闭，子真空管道阀4开启，机械泵对被抽容器抽气，抽气达到要求，子真空管道阀4关闭，主阀3和前级管道阀5打开，扩散泵对被抽容器抽高真空[14]。