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缺陷会对 XRD 衍射线产生不同的影响[4]。
内应力是在物体内部存在并保持平衡着的应力。按存在范围的大小,可将内应力
分为以下三种:
第一类内应力:在宏观尺度范围内存在并保持着的应力,也称为宏观应力。此范
围包含了无数个小晶粒。宏观应力会使材料在较大范围内产生均匀应变。当材料内部
存在单向拉应力时,平行于应力方向的(hkl)晶面间距缩小(即衍射角增大) ,同时
垂直于应力方向的同族晶面间距增大(即衍射角减小) ,当材料中存在压应力时,晶
面间距及衍射角的变化与拉应力相反。由于由于方位相同的各晶粒中同名(hkl)面
衍射角变化相同,从而导致各衍射峰位相同一方向漂移。这就是 X 射线仪测量第一类
应力的理论基础。
第二类内应力:在数个晶粒范围内存在并保持平衡着的应力。又称为微观应力。
位错造成的应力就属于此类。由于其存在范围小,应力应变分布不均匀,各晶粒的同族{hkl}晶面间距有的增加,有的减小,导致衍射峰向不同方向位移,引起衍射峰漫
散宽化。这就是 X 射线仪测量第二类应力的理论基础。
第三类内应力:在若干个原子范围内存在并保持平衡着的应力。又称为超微观应
力。由于应力存在范围为晶胞尺寸数量级,应变会使原子离开平衡位置,产生点阵畸
变,导致衍射强度降低[4]。
晶粒细化也会造成衍射峰宽化。对于多晶试样而言,当晶块尺寸较大时,倒易点
不容易扩展成倒易杆, 与每个晶块中的某一晶面{hkl}相应的倒易点近似为一几何点。
由无数晶块中同族晶面{hkl}相应的点组成了一个无厚度的倒易球面。
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